After-sales Service: | on-Line Service |
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Warranty: | One Year |
Solicitud: | Industria, Colegio, Laboratorio |
personalizado: | personalizado |
Proceso de dar un título: | CE |
Estructura: | Portátil |
Proveedores con licencias comerciales verificadas
Laboratorio plasma mejorado de deposición de vapor químico sistema PECVD de Slililicon deposición de película
La deposición de vapor químico realzada por plasma (PECVD) es un tipo de deposición de vapor químico caracterizado por el uso de la activación del plasma a bajas temperaturas para mejorar la reacción de deposición de vapor químico. Las ventajas de este método son que la temperatura de deposición es baja, la tasa de deposición es rápida, y la película producida tiene excelentes propiedades eléctricas, buena adhesión de sustrato y excelente cobertura de paso.Especificaciones del sistema PECVD
Número de modelo | TN-PECVD-200SST | ||
Tamaño de cavidad | PHI 500 - | ||
Longitud de la zona caliente | 200 | ||
Fuente de alimentación de RF | 500W (1000W es opcional) | ||
Temperatura | 1000 ºC | ||
Bomba para el forrajear | Conjunto de bombas moleculares | ||
Tipo de visualización | Tipo T. | ||
Zona caliente | Zona única | ||
Refrigerador de agua | CW5200 | ||
Material de cavidad | SS | ||
SampleHeating temperatura |
Por encima de RT-1000ºC, precisión de control de temperatura: ±1.C , utilizando un medidor de control de temperatura para el control de temperatura; Velocidad ajustable: 1-20rpm ajustable |
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Tamaño del cabezal de pulverización | Φ90mm, el espacio entre el cabezal de pulverización y la muestra 40-100mm en línea ajustable continuamente (puede ajustarse según el proceso), y con una regla de índice de visualización | ||
Tabla de muestra | 200mm diámetro | ||
Vacío de trabajo para deposición | 0,133-133Pa (puede ajustarse según el proceso) | ||
Brida superior | Puede ser levantado por motor, el sustrato es fácil de cambiar, y hay un puerto visual | ||
Tabla de sustratos | Movimiento lineal y azimut de la mesa de sustrato, calentamiento de sustrato y control de temperatura, mesa de montaje y control de pantalla táctil, el movimiento lineal de sustrato se controla manualmente, y la rotación de sustrato se controla mediante motores de CC | ||
Cámara de vacío | Apertura de puerta delantera, acero inoxidable φ500mm X 500mm | ||
Ventana de observación | φ100mm con deflector | ||
Caudalímetro de masa | Caudalímetro de masa de seis vías | ||
Número de rutas de gas | Seis caminos | ||
Rango de presión | 0,15 MPa a 0,15 MPa | ||
Rango | 0 a 100 SCCM (oxígeno) 0 a 100 SCCM (CF4) 0 a 200 SCCM (SF6) 0 a 200 SCCM (argón) 0 a 500 SCCM (otros gases aire) 0-500 SCCM (otros gases nitrógeno) |
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Rango de control de flujo | Más o menos 1,5% | ||
Material de la trayectoria del gas | acero inoxidable 304 | ||
Unión de tuberías | 6,35mm junta del casquillo | ||
Sistema de vacío | Bomba delantera: Bomba de vacío exenta de aceite 4,7L/S. Bomba molecular: 1200L/S |
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Rango de medición | 1 x 10-5 a 1 x 105Pa | ||
Precisión de medición | 1 x 10-5 ~ 1 x 10-4PA±40% de lectura 1 x 10-4 ~ 1 x 105Pa para una lectura de ±20% |
1. Tenemos máquina CVD/PECVD con sistema de suministro de gas+sistema de vacío+horno de tubo + generador de plasma.
2. Horno de tubo (temperatura) :1200C, 1400C, 1600C, la temperatura personalizada es disponible.
3 . Horno de tubo (zona de calefacción) :zona única, zona doble, zona triple, personalizada no de zona de calefacción disponible.
4. Material del tubo: cuarzo, corindón, aleación y otro material del tubo es personalizable.
5. Tubo con diferentes diámetros y longitudes es personalizable.
100W. Generador de plasma: 150W, 300W, 500W, 1000W, 6, y otra potencia del generador de plasma es personalizable.
7. Flujómetro: 1~3 o flujómetro multicanal es opcional en función de su proceso.
Otras máquinas:
Podemos enviar la CVD, máquina PECVD por mar, por aire, por tierra y por expreso, también podemos organizar el envío de acuerdo a sus necesidades.
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
P. ¿Cómo está su garantía?
R. nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A. 5-10 días---- en la tienda. Productos personalizados------ usualmente toma 30-60 días dependiendo de tus necesidades.
P. ¿Alimentación y enchufe?
R. podemos proporcionar productos que se accule a su voltaje local y estándar de enchufe.
P. ¿Cómo pagar?
A. T T, L / C, D / P, ETC.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A. fumigación estándar de exportación firme embalaje de cajas de madera o como sus requisitos.
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