Servicio postventa: | servicio en línea |
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Garantía: | un año |
Solicitud: | Industria, Colegio, Laboratorio |
personalizado: | personalizado |
Proceso de dar un título: | CE |
Estructura: | Portátil |
Proveedores con licencias comerciales verificadas
Sistema PECVD de Horno de tubo de laboratorio con generador RF 300W para Cultivo de película de nitruro de silicio
Especificaciones del horno de tubo PECVD
Horno de tubo |
Elemento | Detalle |
Voltaje | ac220v,50Hz | |
Potencia máxima | 3KW | |
Zona de calefacción | Zonas duales 200mm+200mm | |
Temperatura de trabajo | ≤1200ºC. | |
Precisión de control de temperatura | ±1ºC. | |
Método de control de temperatura | AI-PID curva de proceso de 30 etapas, puede almacenar múltiples | |
Material del tubo | Cuarzo de alta pureza | |
Tamaño del tubo | φ80mm D.I. x 1400mm l | |
Modo de sellado | Brida de vacío de acero inoxidable | |
Medición de vacío | Indicador de resistencia | |
Gas de trabajo | Gases no corrosivos como el hidrógeno, el nitrógeno, el argón y el oxígeno | |
Bomba de vacío | Bomba de vacío de paletas giratorias bipolares | |
Vacío final | 10-1Pa | |
Caudalímetro de masa de tres vías |
Elemento | Detalle |
Tipo de válvula | Válvula de aguja de acero inoxidable | |
Canales de gas | Tres vías | |
Rango de presión | 0,05~0,3MPa | |
Rango | 0~100 SCCM (Ar) 0~200 SCCM(H2) 0~500 SCCM(CH4) |
|
Rango de control de flujo | ±1,5% | |
Volumen del depósito de mezcla | 750ml | |
Material de la trayectoria del gas | acero inoxidable 304 | |
Interfaz de tubería | 6,35mm Junta tipo morcique | |
Fuente de alimentación | ac220v 50Hz | |
Fuente de alimentación de RF |
Elemento | Detalle |
Potencia de salida | 500W | |
Precisión de salida | ±1% | |
Frecuencia de RF | 13,56MHz | |
Estabilidad de RF | ±0,005% | |
Método de enfriamiento | Refrigeración por agua |
1. Tenemos máquina CVD/PECVD con sistema de suministro de gas+sistema de vacío+horno de tubo + generador de plasma.
2. Horno de tubo (temperatura) :1200C, 1400C, 1600C, la temperatura personalizada es disponible.
3 . Horno de tubo (zona de calefacción) :zona única, zona doble, zona triple, personalizada no de zona de calefacción disponible.
4. Material del tubo: cuarzo, corindón, aleación y otro material del tubo es personalizable.
5. Tubo con diferentes diámetros y longitudes es personalizable.
100W. Generador de plasma: 150W, 300W, 500W, 1000W, 6, y otra potencia del generador de plasma es personalizable.
7. Flujómetro: 1~3 o flujómetro multicanal es opcional en función de su proceso.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Es una empresa integral que integra diseño, investigación y desarrollo, producción y ventas.
Los principales productos de nuestra empresa son: Espumador, coater de evaporación térmica, coater de espumador de magnetrón, coater de espumador de plasma, coater de evaporación de haz electrónico, Máquina de recubrimiento láser de impulsos PLD, limpiador de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de hilo de diamante, horno de fusión/estufa, horno de fusión de arco, etc.
Nuestros productos se utilizan ampliamente en el campo de la investigación científica de materiales. Tenemos una amplia cooperación con universidades nacionales, laboratorios y nuevas empresas de materiales. Ha sido exportado con éxito a más de 20 países y regiones, incluyendo los Estados Unidos, el Reino Unido, Alemania, Rusia, Suiza, Canadá, Brasil, etc. y han establecido relaciones de cooperación a largo plazo con los comerciantes locales.
Si usted está realizando investigación de materiales, por favor Contáctenos y le proporcionaremos servicios personalizados para hacer sus experimentos de investigación más suaves!
Podemos enviar la CVD, máquina PECVD por mar, por aire, por tierra y por expreso, también podemos organizar el envío de acuerdo a sus necesidades.
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
P. ¿Cómo está su garantía?
R. nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A. 5-10 días---- en la tienda. Productos personalizados------ usualmente toma 30-60 días dependiendo de tus necesidades.
P. ¿Alimentación y enchufe?
R. podemos proporcionar productos que se accule a su voltaje local y estándar de enchufe.
P. ¿Cómo pagar?
A. T T, L / C, D / P, ETC.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A. fumigación estándar de exportación firme embalaje de cajas de madera o como sus requisitos.
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