Características
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- Diseño de tubo de cuarzo doble: Tubo exterior de 280mm (11") diám . Con tubo interior de 254mm (10") diám. La lámina metálica puede envolverse en la superficie del tubo interior para el crecimiento de la película CVD.
- El extractor de tubos manual permite extraer fácilmente el tubo interior y está listo para la transferencia de película posterior.
- 7000cm'' la zona de calefacción constante larga proporciona sobre la superficie tubular 2 36 para el crecimiento de grafeno en sustratos metálicos de CVD de área grande.
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| Zonas de calefacción y temperatura Control |
- Tres zonas de calefacción: (1230mm, 48" L en total)
- Zona 1: 410mm (16")
- Zona 2: 410mm (16")
- Zona 3: 410 mm (16")
- Zona de calentamiento constante: Máx. 36" de largo con precisión de +/- 5°C si se establecen tres zonas a la misma temperatura.
- Controlador de temperatura PID con 30 segmentos programables y precisión de +/- 1 °C. Protección contra sobretemperatura y fallo de TC.
- Termopares de alta calidad tipo K de Omega.
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| Temperatura de funcionamiento |
- Máx. Temperatura de funcionamiento: 1200°C < 1 horas
- Temperatura de funcionamiento continuo: 1100°C.
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| Tarifas de calefacción |
- Máx. 10 °C /MIN (RT~800 °C)
- Máx. 5°C /min (800~1100°C)
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| Potencia |
- AC 220vac trifásico, 50/60 Hz
- 24 KW máx.
- El cable de polvo se incluye sin enchufe
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| Tubos de procesamiento |
Se incluyen dos tubos de cuarzo con fusible de alta pureza:
- Tubo exterior: 280mm D.E. x 270 mm D.I. x 2070 mm L.
- Tubo interior: 254mm D.E. x 244 mm D.I. x 2310 mm L.
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Bridas selladas al vacío
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- Un par de SS304 juntas de brida sella los tubos dobles en la carcasa de forma ajustada mediante un conjunto de juntas tóricas de silicona de alta temperatura (haga clic en la imagen de la izquierda para obtener más información).
- El puerto KF25 con válvula de aguja está montado a la derecha brida para conexión de bomba de vacío y descarga de presión manual
- La brida derecha se puede acoplar al extractor de tubos
- 4/1'' tubo de compresión en la brida izquierda para gas alimentación
- Manómetro mecánico en la brida izquierda para presión del tubo supervisión
- Los termobloques fijados a las bridas establecieron una barrera térmica para la zona de calefacción constante
- Compatibilidad de vacío: 10 -2 10 torr por bomba mecánica; -4 torr por bomba turbo molecular.
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Extractor de tubos
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El extractor de tubos de operación manual puede ser fijado a la brida derecha para recuperar el tubo interior de 10'' diá. Con productos de película al finalizar el proceso. La imagen de la izquierda ilustra el procedimiento de funcionamiento. |
Dimensión del horno
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5400L x 770W x 1500h mm ( incluir el extractor de tubos ) |
| Peso neto |
~600 kg |
| Peso y dimensiones de envío |
1) 1500 lbs, 97"x39"x74"
2) 1800 lbs, 123"x39"x80" |
| Garantía |
Dos años de garantía limitada para piezas eléctricas. (Las piezas consumibles, como los tubos de procesamiento, las juntas tóricas y los elementos calefactores no están cubiertos por la garantía) |
| Cumplimiento |
- Certificación CE
- Todos los componentes eléctricos ( >24V) Están certificados UL / MET / CSA
- El horno está listo para pasar la certificación TUV(UL61010) o CSA a un costo adicional.
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Advertencias
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- Todos los hornos de tubos de cuarzo están diseñados para usar bajo vacío y baja presión < 0,2 bares / 3 psi / 0,02 MPa
- Atención: Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
- Definición de límite de vacío para todos los hornos de tubos de cuarzo: * las presiones de vacío solo pueden usarse de forma segura hasta 1000°C.
- Para el uso de gases inflamables como H2 y CH4, consulte con el equipo técnico de MTI para conocer las medidas de seguridad. Recomendamos encarecidamente que el horno se utilice dentro de una campana de extracción con detector de fugas H2/CH4 instalado.
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Proveedor Auditado 
