Función de horno
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- Un soporte de muestras plano de alúmina de alta conductividad térmica (2"Lx1"W) está fijado en una muestra de tipo K, y la pareja térmica con el soporte de muestras puede moverse dentro del tubo de cuarzo accionado por un imán manualmente para encontrar la posición de temperatura deseada dentro del tubo para la evaporación o la deposición.
- Un monitor de temperatura de precisión certificado por NIST está conectado a un acoplamiento térmico y soporte de muestras a través de una conexión en la brida de vacío.
- Un imán está incrustado en el bloque térmico y otro imán se coloca fuera del tubo. Mover el imán exterior puede mover el portamuestras con la pareja térmica dentro del tubo hacia dentro o hacia fuera
- El controlador de temperatura programable de 30 segmentos está integrado en el horno para configurar la temperatura de trabajo máxima de hasta 1200oC en el centro del horno
- Se incluye un pequeño crisol de cuarzo, que puede usarse para contener material de evaporación o por favor oblea en la parte superior para deposición basada en su aplicación.
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Potencia del horno |
- 110Vac o 208 - 240 VCA, 50/60Hz (confirme el voltaje cuando realice el pedido )
- 1,5 KW
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Máx. Temperatura |
1200 °C (<1 horas) |
Temperatura continua |
1100 °C (continuo) |
Máx. Tasa de calentamiento |
<= 20 °C/min |
Zona de calefacción
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- Longitud de la zona de calefacción: 8" (200mm mm), zona única. La siguiente imagen muestra la distribución de la temperatura a través de la zona de calefacción, haga clic para ampliarla.
- Temp. Constante Zona: 2,3" (60mm) (+/-1°C) a 1000 °C.
- Debe medir el perfil de temperatura del horno para su propia aplicación antes de hacer el crecimiento de la película.
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Controlador de temperatura
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- Control automático PID a través de relé de estado sólido con 30 pasos programable
- Protección contra sobretemperatura y fallo de termopar integrada
- Opcional: El horno puede ser operado por PC con la instalación de un módulo de control. Solicite un módulo de control MTS02-B con un coste adicional.
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Precisión de temperatura |
+/- 1°C |
Elementos calefactores |
Aleación Fe-Cr-al dopada por Mo |
Tamaño del tubo |
- tubo de cuarzo de 2" (50mm O.D x 44mm I.D x 1000mm L)
- Se incluyen dos bloques de tubos cerámicos fibrosos para bloquear la radiación de calor de la cámara del tubo. (Los bloques cerámicos deben estar completamente insertados en la cámara del horno antes de calentarse)
- Se incluye un pequeño bote de cuarzo para colocar materiales de muestra o evaporación.
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Bridas de vacío
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Brida predeterminada de 2" con conexiones de 4/1'' Bard, puerto de paso de tubo de 1/4'' (para inserción de termopar de 4/1" O.D) y un puerto de vacío de KF25 (haga clic en la imagen siguiente para ver los detalles )
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Nivel de vacío |
10-2torr (por bomba mecánica) |
Puertos de conexión
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Piezas opcionales |
- Es posible que necesite una válvula de vacío en el puerto de vacío fin ( haga clic en la imagen a la izquierda para ordenar )
- Puede solicitar una brida de conexión rápida con un coste adicional.
- Puede solicitar un sistema de suministro de gas multicanal para el funcionamiento de DVD o CVD.
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Dimensiones
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Con la tapa cerrada: 1055mm (L) × 300mm (An) × 400mm (al)
Con la tapa abierta: 1055mm (L) × 300mm (An) × 560mm (al) |
Peso neto |
22 Kg |
Tamaño del paquete de envío |
48''(L) x 24''(An) x 28''(al) |
Peso de envío |
120 lbs |
Garantía |
Garantía limitada de un año con soporte de tiempo de elevación (las piezas consumibles como los tubos de procesamiento y las juntas tóricas no están cubiertas por la garantía. |
Ordenador portátil, software y control WiFi (opcional) |
- Nuevo portátil con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato.
- El sistema de Control de temperatura basado en LabVIEW permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI.
- Un mando a distancia inalámbrico proporciona un alcance de funcionamiento de hasta 300 metros.
- Las características anteriores están disponibles bajo petición con un costo adicional (hasta $1.000). Por favor Contáctenos para más información
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Cumplimiento |
- Certificación CE
- Todos los componentes eléctricos ( >24V) Están certificados UL / MET / CSA
- El horno está listo para pasar la certificación TUV(UL61010) o CSA a un costo adicional.
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Notas de aplicación
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- Los hornos de tubo con tubos de cuarzo están diseñados para su uso bajo vacío y baja presión < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- Atención: Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 PSI para un funcionamiento seguro. Definición de límite de vacío para todos los hornos de tubos de cuarzo: * las presiones de vacío solo pueden usarse de forma segura hasta 1000°C.
- El caudal de los gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200ml/min) para reducir los choques térmicos al tubo
- Si desea enfriar la muestra al vacío en el sistema EAS, considere el siguiente módulo
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