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Proveedor Auditado Introducción de equipos de recubrimiento de sputtering
VTC-600-3HD está a 3 jefes compact 2" magnetrón sputtering system con fuente de alimentación opcional:DC supttering,supering RF RF Y CC, ambos supttering investigador, que permite realizar todo tipo de recubrimiento de película fina en una sola máquina.Un rastreador de espesor de la película se incluye para permitir al usuario controlar el proceso fácilmente.Este coateo es adecuado para la película de múltiples capas de revestimiento de una amplia gama de material ferroeléctrico,tales como, de la aleación, semiconductor, cerámica, el dieléctrico, óptico, óxido, difícil, PTFE, etc. a precios asequibles.
Parámetros técnicos:
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La potencia de entrada |
220Vca monofásica, 50/60Hz 2000W (incluyendo la bomba) |
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Potencia de la fuente |
Fuente de alimentación de CC, una sola fuente de energía de radiofrecuencia o RF de CC y fuente de alimentación.La fuente de alimentación opcional con solo DC: Fuente: 500W para el revestimiento de los materiales metálicos Compact 300 fuente de RF para materiales no conductores |
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Magnetrón Sputtering jefe |
Tres 2" Magnetrón Sputtering cabezas con camisas de refrigeración de agua están incluidos para conectar la fuente de alimentación opcional Agua de refrigeración de la cabeza: 10ml/min el flujo de agua requerida |
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La cámara de vacío |
La cámara de vacío: 300 mm de diámetro x 300 mm de altura, fabricado en acero inoxidable Ventana de observación de 100 mm de diámetro Cubierta de tipo bisagra en la parte superior con resorte neumático sport hace fácil cambio de destino |
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El titular de la muestra |
Portamuestras tamaño: 140mm de diámetro. 4" de la oblea máx. El titular de la muestra la velocidad de rotación es ajustable: 1 - 20 rpm para recubrimiento uniforme El titular de la temperatura es ajustable de RT a 500°C máx. con una precisión de +/- 1,0 °C |
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Control de flujo de gas
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Dos de precisión digital MFC (controlador de flujo de masa) se instalan para permitir a los dos tipos de gases a rellenarse Caudal: 200 ml/min máx. El caudal es ajustable en la pantalla táctil de 6" el panel de control |
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La estación de bomba de vacío |
1.turbo de alta velocidad del sistema de bomba de vacío se instala directamente en la cámara de vacío para un máximo nivel de vacío 2.Heavy Duty de la bomba mecánica de doble etapa está conectado a la bomba de turbo para acelerar la bomba. 3.La estación de bomba móvil está incluido y el compacto de sputtering coater puede ser puesto en la parte superior de la estación 4.El nivel de vacío máximo: 10^-6 torr con la cámara hornear |
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Monitor de espesor |
Uno de cuarzo de precisión del sensor de espesor está integrado en la cámara para supervisar el espesor del revestimiento con una precisión 0,10 Å La unidad de Display de LED fuera de la cámara se puede: Material de entrada a revestir de acuerdo a base de datos incluido Mostrar el total de espesor y recubierto de velocidad de recubrimiento 3.5 Los pcs de los sensores de cuarzo (consumible) están incluidos 4.Se requiere de agua de refrigeración |
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Dimensiones generales |
L1300W660mm mm×× H1200mm |
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peso neto |
160 kg. |
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La garantía |
Un año de garantía limitada con el apoyo de por vida |
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