PECVD de deposición de vapor químico reforzado por plasma para película de grafito continuo

• Servicio postventa: 1 años
• Garantía: 1 años
• Solicitud: Industria, Colegio, Laboratorio
• personalizado: personalizado
• Proceso de dar un título: CE
• Estructura: Escritorio
• No. de Modelo.: CY-PECVD-200SST
• Material: Acero inoxidable
• Tipo: Horno tubular
• método de refrigeración de la fuente de alimentación de rf: refrigeración por aire
• zona de calefacción: zona de calefacción sencilla 200mm
• precisión de temperatura: +-1c
• material del tubo del horno: cuarzo de alta pureza
• tamaño del tubo del horno: diám. 50*1200mm
• velocidad ajustable: 0-20rpm
• Paquete de Transporte: Standard Export Wooden Packaging
• Marca Comercial: CYKY
• Origen: Zhengzhou Henan China
• Código del HS: 8401200000
• Capacidad de Producción: 50sets Per Month

Descripción de Producto

Plasma mejorado depósito de vapor químico pecvd para grafito continuo o. Película bidimensional Growthe

Descripción del producto

La deposición de vapor químico realzada por plasma (PECVD) es un tipo de deposición de vapor químico caracterizado por el uso de la activación del plasma a bajas temperaturas para mejorar la reacción de deposición de vapor químico. Las ventajas de este método son que la temperatura de deposición es baja, la tasa de deposición es rápida, y la película producida tiene excelentes propiedades eléctricas, buena adhesión de sustrato y excelente cobertura de paso.

Áreas de aplicación de la deposición de vapor PECVD:
Los sistemas de ECV con plasma mejorado pueden usarse en: Preparación de grafeno, preparación de sulfuro, preparación de nanomateriales y otros sitios de prueba. Una variedad de películas como   SiOx, SiNx, silicio amorfo, silicio microcristalino, nano-silicio, SIC, como un diamante, etc. pueden depositarse en la superficie de muestras de escamas o de formas similares, y pueden depositarse películas dopadas de tipo P y tipo N. La película depositada tiene buena uniformidad, compacidad, adhesión y aislamiento. Ampliamente utilizado en herramientas de corte, moldes de alta precisión, recubrimientos duros, decoración de alta calidad y otros campos, la deposición de vapor PECVD tiene una amplia gama de aplicaciones en circuitos integrados a gran escala, dispositivos optoelectrónicos, MEMS y otros campos.
 

Parámetros del producto

 

	Número de modelo	CY-PECVD-200SST
	Tamaño de cavidad	PHI 500 -
	Longitud de la zona caliente	200
	Fuente de alimentación de RF	500W-
	Temperatura	1000 ºC
	Bomba para el forrajear	Conjunto de bombas moleculares
	Tipo de visualización	T
	Zona caliente	I-
	Refrigerador de agua	CW5200
	Material de cavidad	SS
	Calentamiento de muestras Temperatura de calentamiento	Por encima  de RT-1000ºC,      precisión de control de temperatura:  ±1.C  , utilizando un medidor de control de temperatura para el control de temperatura; Velocidad ajustable: 1-20rpm ajustable
	Tamaño del cabezal de pulverización	Φ90mm, el espacio entre el cabezal de pulverización y la muestra 40-100mm en línea ajustable continuamente (puede ajustarse según el proceso), y con una regla de índice de visualización
	Tabla de muestra	200mm diámetro
	Vacío de trabajo para deposición	0,133-133Pa (puede ajustarse según el proceso)
	Brida superior	Puede ser levantado por motor, el sustrato es fácil de cambiar, y hay un puerto visual
Tabla de sustratos			Movimiento lineal y azimut de la mesa de sustrato, calentamiento de sustrato y control de temperatura, mesa de montaje y control de pantalla táctil, el movimiento lineal de sustrato se controla manualmente, y la rotación de sustrato se controla mediante motores de CC
Cámara de vacío			Apertura de puerta delantera, acero inoxidable φ500mm X 500mm
Ventana de observación			φ100mm con deflector
Caudalímetro de masa			Caudalímetro de masa de seis vías
Número de rutas de gas			Seis caminos
Rango de presión			0,15 MPa a 0,15 MPa
Rango			0 a 100 SCCM (oxígeno) 0 a 100 SCCM (CF4) 0 a 200 SCCM (SF6) 0 a 200 SCCM (argón) 0 a 500 SCCM (otros gases aire) 0-500 SCCM (otros gases nitrógeno)
Rango de control de flujo			Más o menos 1,5%
Material de la trayectoria del gas			acero inoxidable 304
Unión de tuberías			6,35mm junta del casquillo
Sistema de vacío			Bomba delantera: Bomba de vacío exenta de aceite 4,7L/S. Bomba molecular: 1200L/S
Rango de medición			1 x 10-5 a 1 x 105Pa
Precisión de medición			1 x 10-5 ~ 1 x 10-4PA±40% de lectura 1 x 10-4 ~ 1 x 105Pa para una lectura de ±20%

Fotos detalladas

Fundada en 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. Es una empresa especializada en el desarrollo y la producción de equipos de investigación de tecnología de laboratorio. Los productos son mezclados, prensados, quemados, cortados, molidos, equipo analítico pulido, revestido y consumibles relacionados. Los productos incluyen equipos de sinterización de laboratorio, equipos de revestimiento, etc. En la actualidad, se ha exportado a 25 países y regiones como los Estados Unidos, Europa y el sudeste de Asia, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigación científica.

Tenemos un equipo de investigación y desarrollo tecnológico maduro, el número de técnicos es de 33, la empresa tiene 150 personas, más de 500 metros cuadrados de espacio de oficina, la fábrica cubre un área de unos 1.500 metros cuadrados situada en el Parque Industrial electrónico de la Zona de Alta Tecnología de Zhengzhou. Los productos están principalmente ubicados en el mercado de la investigación, sirviendo la investigación científica en los laboratorios de universidades y colegios, y también pueden personalizar los productos de acuerdo a sus necesidades.





P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos su propio equipo de diseño y fábrica, tenemos una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.

P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.

P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.

P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
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A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial Alibaba.

P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.

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