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ESPUMACIÓN DE MAGNETRÓN: DESCRIPCIÓN GENERAL
El esputo es un proceso de deposición basado en plasma en el cual los iones energéticos se aceleran hacia un objetivo. Los iones golpean el objetivo y los átomos son expulsados (o escupidos) de la superficie. Estos átomos viajan hacia el sustrato e incorporan en la película creciente.
El esputo de magnetrón con energía de CC es una opción efectiva y económica para depositar materiales conductores como metales o óxidos conductores transparentes (TCO). Para materiales magnéticos como Fe (hierro), ni (níquel) o Co (cobalto), los magnetrones de CC pueden configurarse con imanes seleccionados específicamente para generar plasma dentro de un campo magnético fuerte.
Utilizando la potencia suministrada a radiofrecuencia (RF) - típicamente a 13,56 MHz - y una red de adaptación automática de impedancia, la impedancia total del circuito puede regularse a 50 Ω, lo que es adecuado para la ignición por plasma en entornos de espumación típicos. Adecuado para materiales como óxidos, nitruros y cerámicas
Datos técnicos del magnetrón esputtering coater:
| Nombre del producto | Cuador de espumador de magnetrón de cuatro objetivos | |
| Modelo de producto | CY-MSH500X-DCDCRFRF-SS | |
| Entrada | ac220v,50Hz | |
| Potencia total | 6KW | |
| Grado de vacío final | 5x10-4PA | |
| Parámetros de la tabla de muestra | Tamaño | 150 diám. |
| Altura | 70 mm ajustable | |
| Calefacción | ≤850ºC. | |
| Velocidad de rotación | 1-20 rpm | |
| Parámetros de la cabeza de pulverización de magnetrón | Cantidad | juego de cuatro, 2 pulgadas |
| Modo de refrigeración | Refrigerado por agua, caudal requerido rate10L/min | |
| Enfriador de agua | 10L/min refrigeración por agua circulante | |
| Cámara de vacío | Tamaño | 500mmDia. × 550mm H |
| Material | Acero inoxidable | |
| Ventana de vigilancia | 100mm diám. | |
| Modo abierto | puerta de apertura delantera | |
| Controlador de flujo de gas | 1channel 200sccm Ar; | |
| Bomba de vacío | Bombeo del sistema de bomba molecular,1200L/S | |
| Medidor de grosor de película | Espesor de película vibratoria de cuarzo , Un juego, resolución 0,10 Å |
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| Fuente de alimentación del canal | Fuente de alimentación de CC: dos juegos,500W,para películas de metal Fuente de alimentación RF: dos juegos,500W,para películas no metálicas |
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| Modo de funcionamiento | Sistema de control profesional autodesarrollado CYKY | |
| Dimensiones totales | 1250mm X 1000mm X2000mm | |
| Peso total | 500kg | |
1. Tenemos un matador de espita de magnetrón con 1 objetivos, 2 objetivos, 3 objetivos, 4 objetivos, etc. el objetivo puede ser diseñado en la parte superior o inferior de la cámara.
2. 0-1000W DC o RF objetivo está disponible. La función de sesgo es opcional
3. Tamaño objetivo: 1 pulgadas, 2 pulgadas, 3 pulgadas, 4 pulgadas, etc.
4. Blanco magnético fuerte y blanco mágico pernanente es opcional
5. Magnetrón esputtering coater con evaporación, E-beam está disponible
6. ¡el matamosal de espumones de magnetrón personalizado de acuerdo con su proceso de investigación está disponible! 
Podemos enviar el magnetrón esputtering coater por mar, por aire, por expreso, también puede organizar el envío de acuerdo con sus necesidades.
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. Es una empresa integral que integra diseño, investigación y desarrollo, producción y ventas.
Los principales productos de nuestra empresa son: Espumador, coater de evaporación térmica , coater de espumador de magnetrón, coater de espumador de plasma, coater de evaporación de E-beam, máquina de revestimiento láser de pulso PLD, limpiador de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de hilo de diamante, horno/estufa de fusión, horno de fusión de arco, etc.
Nuestros productos se utilizan ampliamente en el campo de la investigación científica de materiales. Tenemos una amplia cooperación con universidades nacionales, laboratorios y nuevas empresas de materiales. Ha sido exportado con éxito a más de 20 países y regiones, incluyendo los Estados Unidos, el Reino Unido, Alemania, Rusia, Suiza, Canadá , etc. y han establecido relaciones de cooperación a largo plazo con los comerciantes locales
Si usted está realizando investigación de materiales, por favor Contáctenos y le proporcionaremos servicios personalizados para hacer sus experimentos de investigación más suaves!
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
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