PE-Plasma Hpcvd híbrido mejorado de deposición de vapor químico física horno para Lab

• Solicitud: Industria, Colegio, Laboratorio
• personalizado: personalizado
• Proceso de dar un título: CE
• Estructura: Escritorio
• Material: Acero inoxidable
• Tipo: Horno tubular
• No. de Modelo.: CY-PE-HPCVD
• método de refrigeración de la fuente de alimentación de rf: refrigeración por aire
• zona de calefacción: zona de calefacción sencilla 200mm
• precisión de temperatura: +-1c
• material del tubo del horno: cuarzo de alta pureza
• tamaño del tubo del horno: diám. 50*1200mm
• velocidad ajustable: 0-20rpm
• Paquete de Transporte: Standard Export Wooden Packaging
• Marca Comercial: CYKY
• Origen: Zhengzhou Henan China
• Código del HS: 8401200000
• Capacidad de Producción: 200 Sets Per Month

Descripción de Producto

PE-Plasma HPCVD híBrido mejorado de deposicióN de vapor quíMico fíSica horno para Lab  

Este producto es un 1200ºC híBrido mejorado plasma de deposicióN de vapor quíMico fíSica (HPCVD) de doble zona de calentamiento del sistema de horno de tubo giratorio.El equipo incluye un doble tubo de la zona de calentamiento de horno, un conjunto de la evaporacióN del filamento de tungsteno de origen, un juego de generador de plasma y un conjunto de la masa del sistema de caudalíMetro.Su principio de funcionamiento consiste en evaporar el reactivo en el extremo de entrada de gas a travéS de la fuente de evaporacióN y cargarlo en la zona de calefaccióN del tubo a travéS del horno el flujo de aire para llevar a cabo la reaccióN de las ECV.Al mismo tiempo, la reaccióN es promovido por el plasma mejora.Es adecuado para el tratamiento téRmico de compuestos inorgáNicos en polvo y la uniformidad de la capa de superficie (por ejemplo, la preparacióN de polvos de cáTodos de bateríA de iones de litio con revestimientos de conductora en la superficie de la muestra).

ParáMetros téCnicos:

Zona de calentamiento de dos hornos de tubo	El modelo del producto	CY-O1200-50IIT
	Material del tubo de horno	De cuarzo de alta pureza
	DiáMetro del tubo	50mm
	Longitud del tubo de horno	1200mm
	La longitud de la cáMara del horno	440mm
	Longitud de la zona de calentamiento	200mm+200 mm
	La temperatura de funcionamiento	0~1100°C.
	La precisióN de control de temperatura	±1°C.
	El modo de control de temperatura	30 o 50 programa de segmento de control de temperatura
	Modo de pantalla	HD de pantalla LCD táCtil a color
	MéTodo de sellado	Acero inoxidable 304 de la brida de vacíO
	Fuente de alimentacióN	AC:220V 50/60 Hz 2.5kw
Sistema de salida de RF	Rango de potencia	0~500W regulable
	Frecuencia de trabajo	13.56MHz+0.005%
	Modo de trabajo	Salida continua
	Modo de impedancia coincidentes	Puede ser igualado, y el resplandor se distribuye uniformemente a lo largo del tubo de horno
	La estabilidad de potencia	≤2W.
	Potencia reflejada normal de trabajo	≤3W
	AmplificacióN de potencia reflejada	≤70W
	Los componentes armóNicos	≤-50 dBc
	La eficiencia general	≥70%
	Factor de potencia	≥90%
	La tensióN de alimentacióN/frecuencia	Una sola fase AC (187V~153V) la frecuencia de 50/60 Hz
	Modo de control	El control interno/PLC Cantidad analóGica/RS232/485 comunicacióN
	La configuracióN de proteccióN de la alimentacióN	DC proteccióN contra sobrecorriente, amplificador de potencia a travéS de la proteccióN de la temperatura, proteccióN de la potencia reflejada
	MéTodo de refrigeracióN	RefrigeracióN de aire forzado
	Zona de resplandor	En virtud de Ar, la frecuencia de radio la fuente de alimentacióN y la bobina cooperar con el resplandor para llenar el tubo de horno
Barco de evaporacióN	La temperatura de trabajo	1300ºC.
	Fuente de evaporacióN	Cesta de alambre de tungsteno, crisol de alúMina cóNicos opcional
	El termopar	Termopar de tipo S
	Corriente de trabajo	≤30A
	Potencia máX.	500W
El sistema de suministro de gas	El caudalíMetro	CaudalíMetro de masa de cuatro canales
	Rango de caudal	MFC1 Rango:0~200sccm MFC2 Rango:0~200SCCM MFC3 Rango:0~500sccm MFC4 Rango:0~500SCCM Correspondiente a los gases H2, CH4, N2, Ar.
	PrecisióN de medicióN	De ±1,5%F.S
	Repetibilidad.	±0,2% FS
	La precisióN lineal	±1%F.S.
	El tiempo de respuesta	≤4s
	La presióN de trabajo	-0.15Mpa~0,15 Mpa
	El control de flujo	Control de la pantalla táCtil LCD de pantalla digital, cada canal gas contiene la váLvula de aguja para controlar individualmente.
	La interfaz de admisióN	Puede ser conectado con 1/4NPS o 6mm de diáMetro exterior del tubo de acero inoxidable
	La interfaz de salida	Puede ser conectado con 1/4NPS o 6mm de diáMetro exterior del tubo de acero inoxidable
	El méTodo de conexióN	Doble conector de la féRula
	La temperatura de funcionamiento	5~45°C.
	El gas premix	Equipado con dispositivo premixing gas
El sistema de escape	El modelo del producto	CY-GZK103-A.
	Bomba Molecular	Bomba Turbomolecular
	Bomba de refuerzo	Dos etapas de la bomba de paletas giratorias
	La tasa de bombeo	Bomba molecular:600L/S	Bombeo global del rendimiento:30 minutos puede llegar vacíO:5×10E-3Pa
		Bomba de paletas giratorias:1.1L/seg.
	VacíO final	5×10E-4Pa
	Puerto de bombeo	KF40
	Interface escape	KF16
	MedicióN de vacíO	El compuesto indicador de vacíO.

Fotos de horno PECVD:






Fundada en 2005, Zhengzhou CY instrumento cientíFico Co., Ltd.Es una empresa especializada en el desarrollo y produccióN de tecnologíA de laboratorio equipo de investigacióN.Los productos se mezclan, presionado, quemados, cortados, suelo, pulido, recubierto, equipo de anáLisis y los consumibles.Los productos incluyen equipos de la sinterizacióN de laboratorio, equipo de recubrimiento y asíSucesivamente.En la actualidad, se ha exportado a 25 paíSes y regiones como Estados Unidos, Europa, y el sudeste de Asia, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigacióN cientíFica.

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