Personalización: | Disponible |
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Servicio postventa: | 1 años |
Garantía: | 1 años |
Proveedores con licencias comerciales verificadas
Auditado por una agencia de inspección externa independiente
Preparación de películas de diamante de alto nivel policristalino;
Preparación de películas de diamante policristalino de alta calidad;
Preparación de varias películas de nano carbono como grafeno, nanotubos de carbono, fullerenos y películas de diamantes.
Características
a. Equipo de plasma de microondas tipo 6Kw con cavidad de acero inoxidable, alta densidad de potencia;
b. La etapa de sustrato refrigerado por agua y la cámara de metal refrigerado por agua garantizan que el sistema pueda funcionar de forma estable durante mucho tiempo;
c. La temperatura del sustrato se consigue mediante el autocalentamiento del plasma de microondas;
d. El instrumento de medición de vacío adopta un indicador de vacío de rango completo, que puede medir con precisión el vacío de fondo y la presión del gas de trabajo;
e. La bomba de vacío y la válvula adoptan la bomba molecular turbo (el vacío final es 1×10-5Pa) y la bomba de vacío mecánica de paletas rotativas (el vacío final es 1Pa), y el sistema puede controlar automáticamente la presión de deposición;
f. Sistema de circulación del agua de refrigeración para garantizar un funcionamiento seguro y estable a largo plazo del dispositivo bajo alta potencia;
g. Pantalla táctil de 15 pulgadas, control automático del PLC, puede ajustar la temperatura o la presión para que sean constantes, puede guardar y reutilizar hasta 20 conjuntos de archivos de proceso;
Módulo de control de procesos totalmente automático, que puede preparar de forma estable y fiable películas y cristales de diamante de alta calidad
Especificaciones técnicas:
Sistema de microondas |
frecuencia de microondas |
2450±25MHz |
potencia de salida |
0,6kw~6kw ajustable continuamente |
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Sintonización de microondas |
sintonizador de 3 ramales Antena de conversión de modo |
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Protección de reflexión por microondas |
Circular, carga de agua |
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Modo de funcionamiento del microondas |
TM013 |
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fuga de microondas |
≤ 2 mw/cm2 |
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sistema de vacío |
Rango de presión de funcionamiento |
10~250Torr |
Control automático de presión |
40~250Torr |
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Bomba de vacío |
Bomba de vacío de paletas giratorias de 4,4L/s. |
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Integridad del vacío |
< 1,0x10-9 Pa * m3 /s (por detector de fugas de helio) |
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Capacidad de retención de presión |
El aumento de presión es inferior a 0,2 Torr cada 24 horas |
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Vacío final |
0,1Pa(7,5 x10-4 Torr) |
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Medición de vacío |
Indicador de película de Marca |
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Reactor de vacío |
Materiales y estructuras de reactores |
acero inoxidable refrigerado por agua de doble capa |
Junta de vacío |
Junta metálica + junta de anillo de fluorúbber (puerta de carga) |
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ID del reactor |
φ140mm |
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Ventana de la tabla de muestra |
105x50 mm Puerto rectangular, Puerta delantera sellada con junta tórica de flúor |
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Ventana de vigilancia |
Dos puertos, CF35 diámetro grande, distribución de 180 ° |
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Ventana de medición de temperatura |
El ángulo horizontal de las dos ventanas es de 25~30°, distribución de 180°; La ventana es conveniente para detectar la temperatura del plataforma de muestras desde el ángulo oblicuo de la parte superior del reactor hacia abajo |
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Plataforma de muestras |
Plataforma de sustrato refrigerada por agua y elevador eléctrico φ100mm, rango de altura ajustable 0~70mm |
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Cuando el diámetro del sustrato de molibdeno es ≥50mm, la bola de fuego de plasma puede cubrir toda la etapa de sustrato a 5000W y 180torr |
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Temperatura del sustrato 250~1400ºC. Según los parámetros del proceso |
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Canal de gas |
Caudalímetro y válvula de control de flujo importados de Japón |
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MFC de 4 canales proporcionado por el sistema |
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4MFC flujo máximo:H2: 1000sccm,CH4:100sccm,O2:20sccm,N2:2sccm |
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Sistema de medición de temperatura |
Sistema de medición de temperatura por infrarrojos Raytek alemán, rango de temperatura: 300 ~ 1300 ºC |
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Software de sistemas |
Pantalla táctil de 15" con control PLC, interfaz de usuario fácil de usar |
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El sistema admite dos niveles de usuarios: Ingeniero y operador, y proporciona una función de gestión de la autoridad del usuario |
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El sistema está equipado con protección automática como escasez de agua, escasez de aire, fallo de fase de suministro de energía, salto de bola de fuego, sobrecarga de temperatura, encendido, etc. |
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Se pueden configurar hasta 10 conjuntos de recetas de proceso, cada conjunto tiene 40 filas de datos, el proceso de producción se controla automáticamente mediante las recetas de proceso y los datos de proceso se pueden realizar copias de seguridad y exportar a través de un disco U. |
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El sistema viene con extracción de aire totalmente automática, encendido, calefacción, refrigeración y otros procesos preajustados, fáciles de manejar para los usuarios |
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El control de temperatura totalmente automático y el control de presión del aire reducen considerablemente la carga de trabajo de los operadores del sistema |
Fotos de equipos: