Máquina de recubrimiento CVD de semiconductores con sistema de suministro de gas
descripción de producto de la máquina de recubrimiento CVD
1200ºC Tres zona de calefacción de bajo vacío recubrimiento CVD máquina con 3 canales del medidor de flujo de masa CY- O1200-50IIIT-3Z-LVconsists tres hornos de tubo de la zona de calentamiento, los tres canales del medidor de flujo de masa y una fase de doble bomba de vacío rotativas.
Horno de tubo
Las tres zonas de calentamiento del tubo independiente de horno con temperatura controlada por el instrumento de control de temperatura de precisión. Ajustando la temperatura de cada zona de la temperatura del horno, el tubo puede formar tres gradientes de temperatura en la zona de calefacción o la forma de una larga zona de temperatura constante. Cada zona puede editarse con 30 secciones de la temperatura suben y bajan, con el sobrecalentamiento y la protección contra cortocircuitos.
El indicador de vacío y un manómetro mecánico:
Las bridas en ambos lados del tubo de horno están equipados con un indicador de vacío digital y un manómetro mecánico, que puede utilizarse para controlar el ambiente en el horno del tubo. Al mismo tiempo, el tubo horno es operado por la alta definición con pantalla táctil en color verdadero, que es fácil de usar. Incluso los no profesionales pueden dominar el uso del instrumento después de la formación básica, que pueden mejorar considerablemente su experimento de la eficiencia.
Caudalímetro de masa:
El sistema está equipado con tres canales caudalímetro en masa, que tiene una alta precisión y alta fiabilidad. Se puede mezclar con precisión los canales de 1~3 de gas. El panel de operación adopta una pantalla digital que es intuitiva y eficiente. Si usted tiene necesidades especiales, puede ponerse en contacto con el técnico para personalizar cualquier número de canales de gas.
Aplicaciones: 1200ºC Tres zona de calefacción de bajo vacío máquina de recubrimiento CVD
Este equipo es utilizado por sus clientes a la investigación, diseño y fabricación de estos materiales o recubrimientos para la industria aeroespacial componentes del motor, implantes médicos, semiconductores, las células solares, cristal inteligente, nanotubos de carbono y nanocables, LEDs, MEMS, y otras aplicaciones.
Parámetros técnicos de máquina de recubrimiento CVD
| Horno de tubo de vacío |
El modelo |
CY-O1200-50IIIT |
| Material del tubo |
De cuarzo de alta pureza |
| Diámetro del tubo |
50mm (opcional 60mm, 80MM, 100mm) |
| La longitud del tubo |
1300mm |
| La longitud de la cámara del horno |
1060mm |
| Longitud de la zona de calentamiento |
300mm+300mm+300mm |
| La temperatura de funcionamiento |
0~1100°C. |
| La precisión de control de temperatura |
±1°C |
| El modo de control de temperatura |
30 o 50 programa de segmento de control de temperatura |
| Modo de pantalla |
Pantalla LCD |
| Método de sellado |
Acero inoxidable 304 de la brida de vacío |
| La interfaz de brida |
Conector de la virola de 1/4", KF16/25/mixto 40 |
| El vacío |
4.4E-3Pa |
| Fuente de alimentación |
AC: 220V 50/60 Hz |
| Sistema de suministro de gas |
El modelo |
CY-3Z |
| Canal de gas |
3-channel |
| Unidad de medida |
Medidor de caudal másico de gas |
| Rango de medición |
Un canal: 0~100SCCM H2 de gas |
Observaciones: Si necesita otros grupos o tipos de gas, deberá especificar en el pedido. Según los requisitos específicos del cliente, el medidor de flujo de la Correspondiente tipo de gas y el rango puede ser seleccionada. |
| Canal B: 0~300SCCM N2 de gas |
| C Canal: 0~500SCCM gas AR |
| Precisión de medición |
±1, 0%F. S |
| Resistencia a la presión del tubo |
3SM |
| La diferencia de presión de trabajo |
50~300KPa |
| El tubo de conexión |
Acero inoxidable 304 |
| Canal de gas |
Válvula de aguja de acero inoxidable 304 |
| Especificación de interfaz |
1/4" de férula conector Para entrada y salida de gas |
| El Sistema de escape |
Bomba mecánica |
Bomba de paletas giratorias |
| La tasa de bombeo |
1.1L/seg. |
| Interface escape |
KF16 |
| Medición de vacío |
Medidor de resistencia |
| Vacío final |
1, 0E-1Pa |
| Fuente de alimentación |
AC: 220V 50/60 Hz |
| La interfaz de bombeo |
KF16 |
Nota según las necesidades del experimento, puede elegir la temperatura, zona de la temperatura del horno, el tamaño, el sistema de vacío, el caudalímetro
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Horno de tubo
Caudalímetro de masa:
Bomba de vacío rotativas
Fundada en 2005, Zhengzhou CY instrumento científico Co., Ltd. Es una empresa especializada en el desarrollo y producción de equipos de investigación de tecnología de laboratorio. Los productos se mezclan, presionado, quemados, cortados, suelo, pulido, recubierto, equipo de análisis y otros ingredientes. Los productos incluyen equipos de la sinterización de laboratorio, equipo de recubrimiento y así sucesivamente. En la actualidad, se ha exportado a 25 países y regiones como Estados Unidos, Europa, y el sudeste de Asia, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigación científica.
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