Mpcvd Diamante cristalino simple equipo de deposición

• After-sales Service: 24 Hours After Sales Service
• Warranty: 1 Year
• Application: Industry, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE, ISO
• Structure: Desktop
• No. de Modelo.: ACME-MW1070
• Material: Alloy
• Type: Mpcvd
• vacío: control automático
• modo de refrigeración: refrigeración por agua+refrigeración por aire de la cámara
• sistema operativo: control plc, control de pantalla táctil de 15 pulgadas
• microondas y fuente de alimentación: equipado con 10kw fuentes de alimentación de microondas domésticas
• gas de proceso: H2 (1000sccm) CH4 (50sccm) N2 (10sccm) O2 (10sccm)
• bomba de vacío: bomba de aceite
• Paquete de Transporte: Wooden Box
• Especificación: 6kw/10kw/15kw
• Marca Comercial: ACME
• Origen: China
• Código del HS: 8486202100
• Capacidad de Producción: 50PCS/Month

Descripción de Producto

Jinan ACME MW1070 Máquina MPCVD
El vacío	Medición de vacío	Indicador de Piezoresistive 0.1-100kpa indicador de la capacitancia 0-1000Pa
	El rango de presión de funcionamiento	4-28Kpa
	La tasa de fugas de vacío	≤ 5 * Pa.10-9m3/S (que la detección de fugas)
	Control de presión	Auto-Control
	Material de la cavidad	La excitación de aleación de aluminio cámara, cámara de vacío de cuarzo
	Ventana de observación	Orificio de medición de temperatura con un diámetro de 10mm y la ventana de observación del agujero poroso
El modo de refrigeración	El modo de refrigeración	Refrigeración por agua de refrigeración de aire cámara+
	Tamaño de la tabla de ejemplo	Etapa de molibdeno Φ 70mm, área uniforme Φ 50mm
	La medición de temperatura	Termómetro por infrarrojos, rango 300-1400 ºC
	El flujo de agua de refrigeración	>50L/min.
	La temperatura del agua de refrigeración	20-22ºC
	La interfaz de agua de refrigeración	1-pulgadas de la interfaz de cable exterior
Sistema operativo	Sistema operativo	Control de PLC, de 15 pulgadas de pantalla táctil de control
	Menú Proceso	Los menús del proceso de 10, 25 líneas para cada
Horno de microondas y fuente de alimentación	Frecuencia de microondas	2,45±0.1GHz
	La potencia de salida	1.5-7.5Kw (equipada con microondas interna de 10kw alimentación)
	La potencia de entrada de la electricidad	380 AC/50Hz, trifásicos de alambre cinco (3*10+2 * 6 línea de alimentación),>15Kw
	La tasa de fugas de microondas	La tasa de fugas de microondas de 5cm de distancia del equipo ≤ 5 Mw/cm2
Gas	El caudalímetro y la interfaz	H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10 SCCM) S2 (10 SCCM) 1/4 "VCR mujeres aire comprimido de 8mm tubo enchufe rápido de PU
		El caudalímetro puede cambiar el tipo de gas utilizado a través de software
	La presión de suministro de aire	0.3-0.35MPa
	Presión de aire comprimido	0.5-0.6MPa
La bomba de vacío	Bomba de vacío rotativas	La bomba de aceite
	Velocidad de bombeo	4L/seg.
	Fuente de alimentación	Ac 380V (±10%)
	Interface	La extracción de aire KF25, escape de aire KF25
El entorno operativo	La temperatura ambiente y la humedad	La temperatura es inferior a 26 ºC y la humedad es inferior al 40%
Dimensiones totales del equipo	El tamaño	(L) de 1250×800(W)×2100(H)mm
La apariencia de equipos
Condiciones de aceptación de equipos:	1. La instalación del equipo: Después de la instalación del equipo se ha completado, el partido a partido y B deberán proceder a la puesta en marcha del sitio, y Parte B de los técnicos llevarán a cabo el funcionamiento del equipo, la seguridad y mantenimiento de la formación de la persona encargada de la parte A.
	2. La prueba del sistema: El sistema puede ser arrancado y funcionaron normalmente, y el desprendimiento de bola de fuego es estable, sin saltar.
	3.  Fugas de microondas microondas: la fuga es menos de 5 mW/cm2 (la potencia de salida de la fuente de horno de microondas es más que un 80%, de 10 cm de distancia del equipo)