Información Básica
Revestimiento
Revestimiento de Vacío
Paquete de Transporte
caja de madera
Especificación
personalizado
Descripción de Producto
Descripción del producto
Este sistema de recubrimiento es una estructura circular de cámara de vacío, con escape en la parte trasera y una estructura de puerta delantera, y está hecho de acero inoxidable austenítico de alta calidad. En la placa superior de la cámara de depósito de espumación de espumantes se instalan dos (2 pulgadas) (o 3 pulgadas) objetivos de espumación de magnetrón. La dirección del haz saliente es hacia el bastidor de sustrato y se obtiene una película fina en el sustrato. El equipo tiene una estructura simple y puede usarse para investigar y desarrollar películas funcionales de una capa y multicapa a nanoescala, como películas duras, películas metálicas, películas de semiconductores, películas dieléctricas, películas compuestas, películas ferromagnéticas, películas magnéticas y otros nuevos materiales de película fina. .
l Grado de vacío final: ≤6×10-5Pa (obtenido en 12 horas en condiciones de limpieza + horneado y desgasificación);
l tiempo de vacío: En 30 minutos, ≤6×10-4PA;
l temperatura de calentamiento del sustrato: ≤600ºC;
l Tamaño del sustrato: ≤Φ3inch oblea;
l número de gradillas de sustrato: 1;
l Tamaño objetivo: 50mm de diámetro (opcional 3inch);
l número de objetivos: 1 o 2;
l Tamaño de la cámara de vacío: DN250*340 (puede ajustarse adecuadamente según las condiciones reales);
l distancia de movimiento de la gradilla de sustrato: ≤50mm (dirección axial);
l ángulo entre el eje objetivo y el eje de rotación del sustrato: Co-esputtering;
l sistema de gas: Toma de aire de 2 vías, 1 de las cuales se utilizan para el escape;
| Elemento | Especificaciones y Descripción |
| Cámara de vacío | Cámara de vacío de pulverización | DN220*320, el tamaño puede ajustarse de acuerdo con los requisitos de diseño, la cubierta superior puede abrirse y la puerta puede abrirse |
Válvula mariposa de vacío ultra alta
| DN100, control eléctrico, función de presión constante automática opcional
|
Bomba molecular
| Bomba molecular 110L/S o 150L/S.
|
Bomba mecánica
| La bomba de paletas rotativas DVR16 también sirve como bomba de etapa preliminar y pre-bomba |
Válvula deflectora
| DN25 válvula electromagnética deflectora, conexión-desconexión de la tubería de la bomba previa
|
Válvula de parada
| 6mm válvula de parada eléctrica de interfaz de casquillo doble
|
Dispositivo de iluminación y de cocción
| Opcional
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Varios tipos de bridas y ventanas de observación
| DN16, 35, 63, 100, 150
|
Tuberías de acero inoxidable, juntas de tuberías
| Varias especificaciones de precisión de tubos de acero inoxidable, fuelles, juntas de tuberías
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| Medición de vacío y admisión de aire | Vacuómetro compuesto digital
| 5227 vacuómetro compuesto o indicador de rango completo importado opcional
|
Calibre metálico desnudo
| ZJ27, ZJ52T interfaz de metal |
Controlador de flujo de masa
| 7B-D07 controlador de flujo de masa, rango 100sccm
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Tubos y conectores
| Cámara de gas mixto
|
Válvula de parada
| 6mm válvula de parada eléctrica de interfaz de casquillo doble
|
Interfaces de admisión y otros controles
| Válvula reguladora de presión, control eléctrico, retroalimentación disponible
|
| Rack de muestras | Bastidor de sustrato giratorio
| Rotación de sustrato, elevación de bastidor de sustrato
|
Dispositivo de elevación
| Elevación ajuste manual
|
Dispositivo de calentamiento de sustrato de pulverización
| ≤600ºC dispositivo de calefacción opcional
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Alimentación de control de temperatura
| Japón Shimaden control de temperatura, PID control de temperatura
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| Sistema de pulverización | Objetivo de pulverización de control magnético
| Objetivo de pulverización integrado, opcional de 2 o 3 pulgadas, con deflector
|
Suministro de energía de pulverización
| 500W DC o RF opcionales
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Bastidor de equipo
| Diseño integrado
|
Sistema de agua y gas
| Incluye máquina de agua de refrigeración
|
Sistema de control
| Control automático de pantalla táctil opcional manual estándar |
Parámetros principales del sistema:
l Grado de vacío final: ≤5×10-5Pa (obtenido en 12 horas en condiciones de limpieza + horneado y desgasificación);
l tiempo de vacío: En 40 minutos, ≤5×10-4PA;
l temperatura de calentamiento del sustrato: ≤600ºC (calentamiento de la lámpara de tungsteno de yodo);
l Tamaño del sustrato: ≤Φ3inch oblea redonda;
l Tamaño objetivo: 2 pulgadas o 3 pulgadas;
l número de objetivos: 3;
l Tamaño de la cámara de vacío: 400×400×H380~450 (puede ajustarse adecuadamente según las condiciones reales);
l distancia de movimiento de la gradilla de sustrato: ≤50mm (dirección axial);
l ángulo entre el eje objetivo y el eje de rotación del sustrato: Co-esputtering;
l sistema de gas: Toma de aire de 4 vías, 1 de las cuales son para el escape;
Esta pequeña máquina de revestimiento tiene una estructura compacta y un aspecto sencillo y elegante. Es fácil de manejar y mantener y tiene bajos costos de operación. La unidad principal y el sistema de control electrónico de este dispositivo adoptan un diseño integrado. La unidad principal consiste en un bastidor de equipo, un sistema de bombeo y una cámara de vacío. El proceso de recubrimiento se lleva a cabo en la cámara de vacío de pulverización; la parte de control electrónico adopta un armario de control estándar, que contiene varias cajas modulares de conexión. El sistema es potente y tiene un rendimiento estable.
Los parámetros básicos de la máquina de recubrimiento de espumación de magnetrón de ultra-alto vacío son los siguientes:
l vacío final de la cámara de recubrimiento: ≤6×10-5Pa;
l tiempo de bombeo: Mejor que 6×10-4PA en 30 minutos;
l Tamaño de la cámara de vacío: 300×300×H350mm, la cámara de vacío está fabricada en acero inoxidable;
l Tamaño y cantidad objetivo: Objetivos magnéticos permanentes de 2 φ50mm;
l la distancia objetivo-sustrato es ajustable (40~100mm, ajustada por la posición objetivo);
l rotación del sustrato: Ajustable de 0 a 60 rpm; equipado con calefacción, puede calentarse hasta 500 grados;
l Tamaño de la máquina principal: Aproximadamente 1100mm de largo × 750mm de ancho × 1650mm de alto;
l Tipo de gas: MFC de 2 vías, gas de trabajo Ar+gas de reacción;
l medición del grosor de la película: Equipada con un juego de medidor de grosor de película de cristal de cuarzo y sonda original (opcional);
l sistema de control: Pantalla táctil + PLC para controlar el arranque y parada de bombas, válvulas y varias alarmas de salida;
Parámetros principales del sistema:
l Grado de vacío final: ≤5×10-5Pa (obtenido en 12 horas en condiciones de limpieza + horneado y desgasificación);
l tiempo de vacío: En 40 minutos, ≤5×10-4PA;
l temperatura de calentamiento del sustrato: ≤600ºC (calentamiento de la lámpara de tungsteno de yodo);
l Tamaño del sustrato: ≤Φ3inch oblea redonda;
l Tamaño objetivo: 2 pulgadas o 3 pulgadas;
l número de objetivos: 4;
l Tamaño de la cámara de vacío: 500×500×H450 (puede ajustarse adecuadamente según las condiciones reales);
l distancia de movimiento de la gradilla de sustrato: ≤50mm (dirección axial);
l ángulo entre el eje objetivo y el eje de rotación del sustrato: Co-esputtering;
l sistema de gas: 4 tomas de aire, 1 de las cuales son para el escape;
Los parámetros básicos de la máquina de recubrimiento de espumación de magnetrón de ultra-alto vacío son los siguientes:
l vacío final de la cámara de recubrimiento: ≤6×10-5Pa;
l tiempo de bombeo: Mejor que 8×10-4PA en 30 minutos;
l Tamaño de la cámara de vacío: 300mm×300mm×H400mm, la cámara de vacío está fabricada en acero inoxidable y equipada con una ventana de observación de vidrio;
l Tamaño y cantidad objetivo: Objetivos magnéticos permanentes de 2 φ50mm (integrados);
l Fuente de alimentación de pulverización: 2 500W fuentes de alimentación de CC digital;
l Control de presión, equipado con un medidor de película y una válvula de mariposa eléctrica para lograr un control de presión constante;
l distancia de movimiento horizontal 0~80mm, equipada con placa de aislamiento para evitar que caiga escoria durante el movimiento;
l sistema de prensado en caliente: Temperatura de calentamiento del sustrato inferior: 0~600ºC ajustable continuamente. La placa superior se controla neumáticamente para presionar hacia abajo;
l Tamaño de la unidad principal: Longitud 1060mm×ancho 600mm×altura 1600mm; (el tamaño se ajustará adecuadamente según las necesidades)
l Tipo de gas: Controlador de flujo de masa de 2 vías, entrada de aire de 2 vías;
Perfil de la empresa
Nuestra empresa puede ofrecer a los clientes soluciones de diseño de sistemas de recubrimiento de vacío diversificados, que pueden lograr de forma flexible la deposición de co-esputtering, la deposición de película multicapa, las películas aislantes y la preparación de películas compuestas, cumpliendo con los requisitos de preparación de películas en diversos campos. La máquina de recubrimiento por evaporación multifuncional desarrollada se utiliza ampliamente en la investigación y desarrollo de productos OLED y OPV. Sobre la base de la configuración estándar, nuestra empresa puede personalizar las máquinas de recubrimiento para propósitos específicos, instrumentos de recubrimiento portátiles, instrumentos de prueba y productos de vacío no estándar de acuerdo con las necesidades del cliente.
Certificaciones
Embalaje y envío
Satisfacción del cliente, nuestra responsabilidad!
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Fuera de la provincia:llegó en 48 horas;
Además, ACME cuenta con un servicio especial de posventa, que proporciona servicios de respuesta de emergencia, capaz de llegar a la escena en el menor tiempo posible.
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Orientación remota:proporcionar asistencia técnica como teléfono y correo remotos; servicio in situ:proporcionar mantenimiento in situ, asistencia técnica y otros servicios;
Servicio de inspección:proporcionar visitas de retorno y servicios de inspección regulares;
Servicio de estancamiento: Proporcionar servicios de estancamiento a largo plazo necesarios para el proyecto.
Dirección:
Room 1907, Unit 1, Building 1, North Zone, Rongjian Fortune Times Center, 26688 Jingshi Road, Huaiyin District, Jinan City, Jinan, Shandong, China
Tipo de Negocio:
Fabricante/Fábrica, Empresa Comercial
Rango de Negocios:
Equipo y Componentes Industriales, Maquinaria de Procesamiento, Producto Eléctrico y Electrónico
Certificación del Sistema de Gestión:
ISO 9001, ISO 9000, ISO 14001
Introducción de Empresa:
ACME es una ingeniería, fabricación y la empresa de consultoría para productos de energía, un fabricante y proveedor de clase mundial para la AC se estabilizó la frecuencia de frecuencia variable, fuente de alimentación fuente de alimentación, la aviación militar dedicado si el suministro de energía estática, fuente de alimentación DC INVERTER, fuente de alimentación, fuente de alimentación de conmutación (SMP), 25Hz~1kHz fuente de alimentación ininterrumpida (UPS), la alimentación de emergencia (EPS), la energía-fed carga electrónica, suministro de energía reactiva y otros completos fuente de alimentación.
A través de la acumulación y la técnica de reserva de talento, la compañía se ha formado un equipo de gestión de calidad I+D de talentos y aptitudes. La fuerte inversión en I+D productos hace que la actualizan constantemente para satisfacer las diferentes necesidades de los usuarios.
Para ser internacionalmente excelente es el objetivo de la lucha persistente de la empresa. ACME productos de energía han sido ampliamente utilizados en la información, electrodomésticos, aeronáutica, aeroespacial, ferroviario, la energía eléctrica, telecomunicaciones, petróleo, química, el carbón, las finanzas, los valores, la radio y televisión, inspección de calidad, seguridad pública, militares, la construcción naval, medicina y salud, agencias de gobierno, educación y otros sistemas y las industrias, y tienen una buena reputación.
La satisfacción del cliente es nuestro objetivo final!
