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Proveedor Auditado Este equipo es tres objetivo magnetrón esputtering aparato, que puede ser utilizado para la preparación de películas finas de metal. Tiene aplicaciones en los campos de la electrónica, la óptica y la preparación cerámica especial. También puede usarse para la preparación de muestras de laboratorio SEM.
El coater de esputaje de tres magnetrones objetivo está equipado con tres objetivos de magnetrón y dos conjuntos de fuentes de alimentación de CC, que pueden utilizarse para cubrir películas metálicas conductoras multicapa. Al mismo tiempo, el equipo tiene dos partes: Una cámara principal y una cámara de transición. La cámara de transición está equipada con una varilla magnética de empuje y una válvula de compuerta de vacío se instala entre las dos cámaras; el usuario puede cargar muestras en la cámara de transición mientras realiza trabajos de pulverización en la cámara principal y realiza un prebombeo de vacío. Una vez finalizado el proceso de pulverización en la cámara principal, la muestra puede introducirse en la plataforma de muestras de la cámara principal a través de la varilla magnética de empuje. Este diseño puede reducir el número de tiempos de bombeo de vacío en la cámara principal, lo que no solo ahorra tiempo de forma eficaz, sino que también garantiza un mejor vacío local y mejora de forma eficaz la calidad del revestimiento.
| Tensión de trabajo | VAC 220, 60Hz | |
| Cámara de vacío de pulverización | Dimensiones: ~ φ325xH510mm Material: Acero inoxidable 304 Procesamiento de pared interior: Pulido electrolítico Método de sellado: Junta de goma de flúor Visor (ventana): ~4'' (100mm) con obturador |
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| Soporte de muestras | Soporte de muestra de ajuste inferior central, con un obturador Portamuestras: Diám. 150mm Velocidad giratoria: 0~20rpm ajustable Temperatura de calentamiento: RT~ 500oC |
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| Pistola de pulverización de magnetrón | Cantidad: 3 juegos Ángulo ajustable -45°~45° Orientación de pulverización hacia abajo Cota objetivo: Diámetro 2'', espesor máx |
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| Monitor de cristal de cuarzo | Números de canal: Un canal Precisión: 0,1Ã Velocidad de medición: 100ms-1S ajustable Rango de medición: 500 000Ã (aluminio como referencia) Cristal de cuarzo con sensor estándar: 6MHz |
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| Sistema de vacío | Bomba de respaldo | Bomba de paletas rotativas de dos etapas Velocidad de bombeo: 1,1L/s. |
| Bomba molecular | Velocidad de bombeo: 600 l/s. Velocidad nominal de rotación: 27000rpm Hora de inicio: <5min Método de enfriamiento: Enfriamiento por agua Grado de vacío: 5*10-4PA |
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| Indicador de vacío compuesto | Indicador de resistencia + indicador de ionización Rango de medición: 10-5Pa ~ 105 Pa |
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| Fuente de alimentación de CC | Cantidad: 2 juegos Potencia de salida: 0~500W Tensión de salida: 0~600V Corriente de salida máxima: 1A Hora de inicio: 1~10s |
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| Fuente de alimentación de RF | Cantidad: 1 Set Potencia de salida: 0~500W Frecuencia de RF: 13,56 MHz Método de coincidencia: automatch Potencia reflejada: <=100W Estabilidad de potencia: ±0,1% |
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| Controlador de flujo de masa | MFC de un canal para Ar gas Rango de medición: 0~200sccm |
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| Enfriador de agua | Caudal: 10L/min Potencia: 0,1KW Potencia de refrigeración: 50W/ºC Capacidad del tanque: 9L |
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| Control | Control automático del PLC | |
| Cámara de transición | El tamaño de la cámara será para un máximo de 4inch obleas. Equipado con un grupo compacto de bombas moleculares Bomba de respaldo: VRD-4, velocidad de bombeo: 1,1L/s. Modelo de bomba molecular: TG60F Velocidad de bombeo de la bomba molecular: 60L/s. |
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P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos nuestro propio equipo de diseño y fábrica, tenemos una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.
P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.
P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial de Made-in-China.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.
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