Máquina de evaporación térmica de vacío PVD de fuente triple para Wafer Deposición de película

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Tipo: Thermal Evaporation Coater
• Revestimiento: Revestimiento de Vacío
• Sustrato: Acero
• Certificación: CE
• No. de Modelo.: TN-EVH300-III-HHH-SS
• Condición: Nueva
• nombre del producto: Thermal Evaporation Coating Machine
• fuente de evaporación: Boat or Basket
• material de origen: tungsteno
• Evaporation Current: 300a
• tamaño de la mesa de muestra: 150mm
• volatge: 3 Phase380V, 50Hz
• vacío final: 1,0e-5pa
• material de la cámara: sus304
• tamaño de la cámara: 300*400mm
• bomba de respaldo: 1,1l/s
• bomba molecular: 600l/s
• Paquete de Transporte: Fumigated Wooden Box
• Especificación: 1000*800*1500mm
• Marca Comercial: TN
• Origen: China
• Código del HS: 8543300090
• Capacidad de Producción: 10 Set Per Month

Descripción de Producto

Máquina de evaporación térmica de vacío PVD de fuente triple para Wafer Deposición de película
 

Descripción del producto

RESUMEN--EVAPORACIÓN TÉRMICA

La evaporación térmica es una técnica popular de deposición de vapor físico debido a su simplicidad. Durante este proceso, un material en un ambiente de alto vacío se calienta a su punto de evaporación por joule calentamiento de la embarcación resistiva en la que se encuentra. Las moléculas vaporizadas luego viajan de la fuente al sustrato donde se nuclean juntas, formando una capa fina de película. Una amplia variedad de materiales pueden depositarse usando esta técnica como aluminio, plata, níquel, cromo, magnesio, entre muchos otros.

Características de la máquina de recubrimiento por evaporación térmica:

Hay tres grupos de fuentes de evaporación en este equipo, que son las fuentes de evaporación de barcos de tungsteno y electrodos de cobre refrigerados por agua, que pueden soportar una corriente máxima de 260A, y la temperatura de calentamiento puede alcanzar hasta 1800ºC. Puede darse cuenta de la evaporación de varios metales refractarios.
Los tres grupos son fuente independiente de evaporación térmica, no causará la contaminación mutua de los materiales de chapado. El equipo adopta un diseño integrado, la cavidad y la parte de control eléctrico se separan a la izquierda y a la derecha, lo que permite la separación del agua y la electricidad, y asegura de manera efectiva la seguridad de los usuarios.
La parte de control electrónico adopta el diseño de la combinación de pantalla táctil y panel de botones. Las funciones auxiliares, como el sistema de vacío y la plataforma de muestras, se accionan mediante un botón en la pantalla táctil, y la evaporación de encendido y el control del grosor de la película se accionan de forma independiente a través del panel, que resulta lo más conveniente posible para los usuarios al mismo tiempo. Evite la posibilidad de un mal uso.
el equipo tiene un diseño perfecto y un rendimiento excelente, y es un deber-tener para experimentos de recubrimiento de evaporación de alta precisión en laboratorios.

 

Parámetros del producto

Especificaciones del coater de evaporación térmica:

Coeficiente de evaporación térmica al vacío
Etapa de muestra	Tamaño	φ150mm
	Calefacción	Máx. 500C
	Giratorio	0~20rpm, ajustable
Fuente de evaporación	Bote de tungsteno/Cesta*3
Potencia	Cada fuente de evaporación está equipada con una fuente de alimentación independiente, la evaporación al mismo tiempo está disponible
Cámara de vacío	Tamaño de cavidad	φ300x400mm
	Ventana de observación	Frontal φ100mm
	Material de cavidad	SS304
	Apertura	Apertura de la puerta delantera
Control de grosor de película	Monitor de espesor de película de cristal de cuarzo, frecuencia  0,10 Å
Sistema de vacío	Bomba de reserva	Bomba de paletas giratoria, 1,1L/s
	Puerto de escape	KF16
	Bomba secundaria	Bomba molecular, 600L/s
	Puerto de escape	CF160
	Medición de vacío	Vacuómetro compuesto
	Vacío final	5,0E-4PA
Sistema de control	PLC+ pantalla táctil
Otros	Tensión de alimentación	AC380V,50Hz
	Tamaño total	1000mm X 800mm X 1500mm
	Potencia total	7kW
	Peso total	350kg

 

Fotos detalladas

1. Tenemos un coater de evaporación térmica con 1/2/3/4/8... fuentes de evaporación, puede evaporación de metal y material orgánico
2. Material de la cámara: Cuarzo de alta pureza--- vacío bajo, cámara SS304-- vacío alto
3. El monitor de grosor de película es opcional
4. Evaporación térmica, E-beam, magnetrón esputtering en una máquina está disponible
5. Hay disponible un material diferente de la fuente de evaporación
6. Personalizar el coater de evaporación térmica de acuerdo con su proceso está disponible

 

Perfil de la empresa

Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Es una empresa integral que integra diseño, investigación y desarrollo, producción y ventas.

Los principales productos de nuestra empresa son: Espumador, coater de evaporación térmica,  coater de espumador de magnetrón, coater de espumador de plasma, coater de evaporación de haz electrónico, Máquina de recubrimiento láser de impulsos PLD, limpiador de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de hilo de diamante, horno de fusión/estufa, horno de fusión de arco, etc.

Nuestros productos se utilizan ampliamente en el campo de la investigación científica de materiales. Tenemos una amplia cooperación con universidades nacionales, laboratorios y nuevas empresas de materiales. Ha sido exportado con éxito a más de 20 países y regiones, incluyendo los Estados Unidos, el Reino Unido, Alemania, Rusia, Suiza, Canadá,  Brasil, etc. y han establecido relaciones de cooperación a largo plazo con los comerciantes locales.

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