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Proveedor Auditado Coater de evaporación de vacío de seis fuentes con guantera para organicand revestimiento de película metálica
RESUMEN--EVAPORACIÓN TÉRMICA
La evaporación térmica es una técnica popular de deposición de vapor físico debido a su simplicidad. Durante este proceso, un material en un ambiente de alto vacío se calienta a su punto de evaporación por joule calentamiento de la embarcación resistiva en la que se encuentra. Las moléculas vaporizadas luego viajan de la fuente al sustrato donde se nuclean juntas, formando una capa fina de película. Una amplia variedad de materiales pueden depositarse usando esta técnica como aluminio, plata, níquel, cromo, magnesio, entre muchos otros.
Especificaciones del coater de evaporación térmica:
| 1.Cámara de vacío | ||
| Apariencia | 1 conjunto de cámara de vacío en forma de D de acero inoxidable 304 de alta calidad, el tamaño interno de la cámara de vacío es de D400*480mm, las puertas dobles delantera y trasera, y la puerta trasera adopta una puerta cuadrada articulada, que es conveniente para limpiar la cámara de vacío, depuración interna, mantenimiento y muestras de recogida y colocación; La puerta delantera adopta una puerta cuadrada horizontal, y cada puerta delantera y trasera está equipada con 1 conjuntos de DN100 ventanas; |
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| Abajo | 2 conjuntos de interfaces de fuentes metálicas, 4 conjuntos de interfaces de fuentes orgánicas, 1 conjuntos de interfaces de bombas moleculares, 2 conjuntos de interfaces de iluminación y 3 conjuntos de interfaces de sondas de espesor de película; | |
| Arriba | 1 conjunto de interfaz de plataforma de muestras, 1 conjunto de interfaz de deflector eléctrico, 1 conjunto de interfaz de válvula de deflector neumático de alto vacío; | |
| Lado izquierdo | 1 conjunto de interfaz de válvula de descarga neumática de alto vacío. | |
| 2.sistema de fuentes de metal/orgánicas | ||
| Fuente de metal | Cantidad: 2 juegos 2 juegos de electrodos de cobre refrigerados por agua, compatibles con botes de evaporación (botes de tungsteno, molibdeno y tántalo) y cables en espiral, equipados con deflectores neumáticos, 1 juegos de fuente de alimentación de corriente constante de 1KW DC (pantalla digital), precisión de ajuste de corriente 1A (ajuste fino), la potencia se reúne con la evaporación común de metales y óxidos de metales; |
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| Fuente orgánica | Cantidad: 4 juegos 4cc embarcaciones de cuarzo, 2 fuentes de alimentación de control de temperatura (precisión de visualización del medidor de control de temperatura 0,1 °C), rango de temperatura: RT~500 °C (precisión de control de temperatura ±1 °C), con deflector neumático; |
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| Deflector | La fuente de evaporación es independiente entre sí, y el deflector está separado para evitar la contaminación cruzada | |
| 3.sistema de etapas de muestra | ||
| Rotación del sustrato | El régimen es continuamente ajustable de 0 ~ 30 r.p.m.; | |
| Elevación de sustrato | Elevación eléctrica, la distancia entre el sustrato y la fuente de evaporación es de 200~300mm continuamente ajustable a través de la pantalla táctil; | |
| Soporte de muestras | 20mm*20 sustrato 8 piezas | |
| Obturador de sustrato | Obturador eléctrico | |
| 4.sistema de vacío | ||
| Conjunto de bomba de vacío | 1) 1 conjunto de bomba molecular 600L/s; 2) 1 conjunto de bomba de paletas rotativas de 8L/s. 3) 1 juego de CF150 válvulas de compuerta neumática de alto vacío; 4) 1 juego de CF40 válvulas de descarga neumática de alto vacío; 5) 2 juegos de KF16 válvulas de ventosa neumática de alto vacío; 6) 1 juego de KF40 válvulas de descarga neumática de alto vacío; 7) 1 juego de KF40 válvulas de solenoide de vacío; 8) 2 juegos de 1 mangueras de conexión de la válvula de la bomba, KF40 juegos de KF40 T; 9) 1 Juego de vacuómetro digital (rango de medida: 1×105~1×10-5Pa) |
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| 5.sistema de monitor de espesor de película | ||
| Medidor de grosor de película | 1 conjunto de tres canales de monitor de espesor de película de cristal de cuarzo | |
| Sonda de espesor de película | 3 juegos de CF35 sondas de espesor de película refrigeradas por agua | |
| 6.Rack de equipos | ||
| 1) 1 juego de 40 de acero al carbono de tubo cuadrado de soldadura marco; 2) 4 piezas de ruedas universales, mover y ajustar; 3) 4 piezas de M16 pies, bloqueadas y colocadas. |
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| 7.sistema de control electrónico | ||
| Fuente de alimentación de la fuente de metal | juego 1 | |
| Suministro de energía de la fuente orgánica | 2 juegos (uno para dos) | |
| Fuente de evaporación fuente de alimentación deflectora | juego 1 | |
| Monitor de espesor de película de cristal de cuarzo de tres canales | juego 1 | |
| Mesa de muestras y su fuente de alimentación deflectora | juego 1 | |
| Fuente de alimentación de iluminación para hornear | juego 1 | |
| Control del PLC | 1, equipado con pantalla táctil | |
| Alimentación de control total | juego 1 | |
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| Tamaño de la cámara | L1200* W750* H900mm | |
| Guantes | 1 pares | |
| Gran antecámara | Diámetro interior 360mm, longitud 600mm | |
| Pequeña antecámara | Diámetro interior 150mm, longitud 300mm | |
| 9.otros parámetros | ||
| 1) Protección contra pérdida de fase, protección contra funcionamiento incorrecto, bloqueo del elevador y funciones de arranque y parada por vacío de una llave; 2) Alimentación: Sistema de alimentación bifásica ~220V (pico 3KW); 3) suministro de agua: Pequeño refrigerador, temperatura del agua de refrigeración de 5ºC~35ºC, temperatura del entorno de trabajo de 10ºC~40ºC; 4) suministro de aire: Pequeña bomba de aire silenciosa, exenta de aceite, que proporciona una presión de aire de 0,2-0,3MPa para accionar las válvulas neumáticas; 5) vacío final: 6×10-5Pa, el tiempo desde la atmósfera hasta 6×10-4PA es inferior a 35 minutos (llenado con nitrógeno seco), se apaga durante 12 horas de vacío grado≤10pA. |
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1. Tenemos un coater de evaporación térmica con 1/2/3/4/8... fuentes de evaporación, puede evaporación de metal y material orgánico
2. Material de la cámara: Cuarzo de alta pureza--- vacío bajo, cámara SS304-- vacío alto
3. El monitor de grosor de película es opcional
4. Evaporación térmica, E-beam, magnetrón esputtering en una máquina está disponible
5. Hay disponible un material diferente de la fuente de evaporación
6. Personalizar el coater de evaporación térmica de acuerdo con su proceso está disponible
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Es una empresa integral que integra diseño, investigación y desarrollo, producción y ventas.
Los principales productos de nuestra empresa son: Espumador, coater de evaporación térmica, coater de espumador de magnetrón, coater de espumador de plasma, coater de evaporación de haz electrónico, Máquina de recubrimiento láser de impulsos PLD, limpiador de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de hilo de diamante, horno de fusión/estufa, horno de fusión de arco, etc.
Nuestros productos se utilizan ampliamente en el campo de la investigación científica de materiales. Tenemos una amplia cooperación con universidades nacionales, laboratorios y nuevas empresas de materiales. Ha sido exportado con éxito a más de 20 países y regiones, incluyendo los Estados Unidos, el Reino Unido, Alemania, Rusia, Suiza, Canadá, Brasil, etc. y han establecido relaciones de cooperación a largo plazo con los comerciantes locales.
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P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
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