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Proveedor Auditado Descripción general--evaporación térmica
Evaporación térmica es una popular técnica de deposición de vapor física por su simplicidad. Durante este proceso, un material en un alto vacío y el medio ambiente se calienta a su punto de evaporación por joule resistivo el calentamiento de la embarcación en que se encuentra. Las moléculas de vaporizado luego viajar desde el origen al sustrato donde se nuclean juntos, formando una fina capa de revestimiento. Una amplia variedad de materiales que pueden ser depositados mediante esta técnica como el aluminio, plata, níquel, cromo, magnesio, entre muchos otros.
Seis de la evaporación al vacío de origen satinadora con guantera para recubrimiento de película metálica organicand
El equipo de recubrimiento consta de cámara de vacío, del metal/sistema de origen orgánico, sistema de la etapa de la muestra, bomba de vacío, sistema de monitoreo de espesor de película, bastidor de equipo, y el sistema de control electrónico. La puerta frontal de la cámara de vacío puede estar conectado a la guantera, y un esquema de diseño integrado es adoptado. Todo el conjunto del equipo es compacto en la estructura y simple en su diseño, así como para evitar el desorden de la apariencia de equipo experimental.Especificaciones de evaporación térmica coater
| 1.La cámara de vacío | ||
| Apariencia | 1 juego de alta calidad de acero inoxidable 304 D en forma de la cámara de vacío, el tamaño interno de la cámara de vacío es D400*480mm, la parte delantera y trasera puertas dobles, y la puerta trasera adopta un cuadrado con bisagras puerta, que es conveniente para la limpieza de la cámara de vacío, la depuración interna, mantenimiento y recoger y colocar las muestras. La puerta frontal adopta una tracción horizontal de la puerta de la plaza, y cada puerta delantera y trasera está equipado con 1 juego de DN100 windows. |
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| La parte inferior | 2 juegos de metal de las interfaces de origen, 4 conjuntos de origen orgánico, interfaces, 1 juego de la interfaz de la bomba molecular, la iluminación de 2 conjuntos de interfaces y espesor de película 3 conjuntos de interfaces de la sonda. | |
| Top | 1 conjunto de la etapa de la muestra la interfaz, el 1 juego de la interfaz, el deflector eléctrico 1 juego de neumáticos de alto vacío de la válvula de deflector de interfaz. | |
| El lado izquierdo | 1 juego de neumáticos de alto vacío de válvula de charnela interfaz. | |
| 2.Sistema de origen orgánico/Metal | ||
| Fuente de metal | Cantidad: 2 juegos 2 conjuntos de electrodos de cobre refrigerado por agua, compatible con los barcos de evaporación (tungsten, molibdeno y tantalio botes) y en espiral de cables, equipado con deflectores de neumática, 1 juego de 1KW fuente de alimentación de corriente constante de DC (pantalla digital), la precisión del ajuste actual 1A (el ajuste fino), el poder se reúne la evaporación de común de los metales y óxidos metálicos. |
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| Fuente orgánica | Cantidad: 4 conjuntos Barco de cuarzo 4CC, 2 fuentes de alimentación de control de temperatura (medidor de precisión de control de temperatura de la pantalla de 0,1°C), intervalo de temperatura: RT~500°C (el control de temperatura precisión de ±1°C), con deflector de neumáticos. |
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| El deflector | El origen de la evaporación es independiente de cada uno de los otros, y el deflector es separado para evitar contaminación cruzada. | |
| 3.Sistema de la etapa de la muestra | ||
| Rotación de sustrato | La velocidad es continuamente ajustable de 0 ~ 30 rpm. | |
| Levantamiento de sustrato | Elevación eléctrica, la distancia entre el sustrato y la evaporación es de origen 200~300mm continuamente ajustable a través de la pantalla táctil. | |
| El titular de la muestra | 20*20mm sustrato 8 piezas | |
| Obturador de sustrato | Obturador electrónico | |
| 4.Sistema de vacío. | ||
| Conjunto de la bomba de vacío | 1) 1 juego de 600l/s bomba molecular. 2) 1 juego de 8L/s bomba de paletas giratorias 3) 1 juego de CF150 válvula de compuerta de neumáticos de alto vacío. 4) 1 juego de la FQ40 neumático de alto vacío de válvula de charnela. 5) 2 juegos de KF16 neumático de alto vacío válvulas de aleteo. 6) 1 juego de KF40 neumático de alto vacío de válvula de charnela. 7) 1 juego de KF40 de la electroválvula de vacío. 8) 2 juegos de KF40 de la válvula de la bomba mangueras de conexión, 1 juego de KF40 tee. 9) 1 juego de digital manómetro de vacío (rango de medición: 1×105~1×10-5Pa) |
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| 5.Sistema de monitoreo de espesor de película | ||
| Medidor de espesor de película | 1 conjunto de tres canales de cuarzo monitor de espesor de película | |
| Sonda de espesor de película | 3 series de CF35 refrigerado por agua de la sonda de espesor de película | |
| 6.Rack | ||
| 1) 1 juego de acero al carbono 40 soldadura de tubo cuadrado de trama. 2) 4 piezas de la universalización de las ruedas, mover y ajustar. 3) 4 piezas de la M16 los pies, bloqueado y colocado. |
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| 7.Sistema de control electrónico | ||
| La alimentación de la fuente de metal | 1 | |
| Fuente de alimentación de origen orgánico | 2 juegos (uno para dos) | |
| Fuente de alimentación de la evaporación del deflector | 1 | |
| Tres canales de cuarzo monitor de espesor de película | 1 | |
| Tabla de ejemplo y su fuente de alimentación del deflector | 1 | |
| La cocción de la fuente de alimentación de iluminación | 1 | |
| Control de PLC | 1, equipado con pantalla táctil | |
| Control total de la fuente de alimentación | 1 | |
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| El tamaño de la cámara | L1200* W750* H900mm | |
| Los guantes | 1 par | |
| Gran antesala | El diámetro interior 360mm, longitud de 600mm | |
| La pequeña antesala | El diámetro interior de 150mm, longitud de 300 mm | |
| 9.Otros parámetros | ||
| 1) pérdida de fase protección, protección, bloqueo de varillaje misoperation y un vacío de la clave de las funciones de arranque y parada. 2) Alimentación: ~220V en dos fases del sistema de suministro de energía (pico de 3KW). 3) suministro de agua: los pequeños de la enfriadora de agua de refrigeración, la temperatura 5ºC~35ºC, temperatura ambiente de trabajo: 10º~40ºC. 4) Suministro de aire libre de aceite: pequeña bomba de aire silenciosa, la prestación de 0.2-0.3MPa de presión de aire a la unidad válvulas neumáticas. 5) vacío final: 6×10-5PA, el tiempo de la atmósfera a 6×10-4PA es inferior a 35 minutos (relleno con nitrógeno seco), cerró durante 12 horas el grado de vacío≤10Pensilvania. |
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