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Proveedor Auditado El coater de esputtering de magnetrón de tres objetivos es un equipo de recubrimiento rentable desarrollado independientemente por nuestra empresa; tiene estandarización, modularización y personalización. Tres magnetrón de 3 pulgadas de objetivo de sputtering, uno es de alta intensidad objetivo magnético, dos son permanente objetivo; la fuente de alimentación es dos 500W DC de fuente de alimentación y una fuente de alimentación de 300W RF, la fuente de alimentación de CC se puede utilizar en la preparación de película de metal, Y la fuente de alimentación de RF se puede utilizar en la preparación de película no metálica, tres objetivos pueden satisfacer las necesidades de múltiples capas o múltiples revestimientos.
El equipo de recubrimiento está equipado con dos medidores de flujo de masa de alta precisión. Si los clientes tienen requisitos adicionales, la ruta de gas de hasta cuatro puede personalizarse para cumplir con los requisitos de la construcción de un entorno de gas complejo. El instrumento está equipado con avanzadas bombas turbo-moleculares, el vacío final puede hasta 1,0E-5Pa, mientras que otros tipos de bombas moleculares están disponibles para la compra. La trayectoria de gas de la bomba molecular se controla mediante múltiples válvulas solenoides, que pueden abrir la cámara para extraer muestras sin apagar la bomba, y pueden mejorar considerablemente su eficiencia de trabajo. El producto puede ser equipado con un ordenador de control industrial integrado para controlar el sistema, la mayoría de las funciones como el control de la bomba de vacío y la fuente de alimentación de pulverización se puede realizar en el programa de ordenador, puede mejorar aún más la eficiencia de su experimento.
Tres objetivos de gama de aplicación de magnetrón de aplicación:
El equipo puede usarse en la preparación de película ferroeléctrica de una o varias capas, película conductiva, película de aleación, película de semiconductor, película cerámica, Película dieléctrica, película óptica, película de óxido, película dura, película de PTFE y así sucesivamente. En comparación con equipos similares, el coater de magnetrón de tres objetivos no solo se utiliza ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un pequeño volumen y un funcionamiento sencillo. Es un equipo ideal para preparar películas de material en el laboratorio.
| Nombre del producto | Tres-objetivo magnetrón esputtering coater---posición inferior de la pistola de destino (interfaz de operación en inglés) |
| Modelo de producto | TN-MSH325X-III-DCDCRF-SS |
| Suministro de energía de pulverización | Se instalaron dos fuentes de alimentación de CC y una fuente de alimentación de RF Potencia de CC: 500W Potencia de RF: 300W |
| Cámara de vacío | Cámara de vacío: 325 mm de diámetro x 600 mm de altura,ventana de observación de acero inoxidable: 100 mm de diámetro |
| Cabeza de espumación de magnetrón | El instrumento está equipado con tres pistolas objetivo de 3 pulgadas de magnetrón objetivo que escupen (una de las cuales es un objetivo magnético fuerte y dos objetivos magnéticos permanentes), y todos tienen intercapa refrigerada por agua, que puede ser enfriado por agua de refrigeración para el material objetivo |
| La tabla de muestra | Tamaño de la mesa de muestras: 150mm diá. (La mesa de muestras puede girar, con rango de velocidad ajustable: 1-20rpm) La temperatura máxima de calentamiento de la mesa de muestras es de 750ºC y la precisión de control de temperatura es de +/- 1,0°C. |
| Controlador de flujo de gas | Dentro del instrumento hay instalado un caudalímetro de masa Rango: 0-200sccm (argón) El flujo de gas se puede ajustar en pantalla inteligente de 15,6 pulgadas sistema de control |
| Bomba de vacío | Equipado con un conjunto de bomba molecular, utilizando one-clickoperation600L/S. |
| Indicador de vacío | Indicador de vacío EF Kompirani MPG400 Rango de medida: 5 x 10-9 mbar -- presión atmosférica |
| Medidor de grosor de película | El medidor de espesor de la película de vibración de cuarzo está montado en el equipo y puede controlar el espesor de la película en tiempo real con una resolución de 0,1A. |
| Voltaje | 220V 50HZ |
| Notas | 1. tres blancos de 3 pulgadas (un blanco magnético fuerte y dos blancos magnéticos permanentes) 2. un flujómetro 3. cámara de vacío de acero inoxidable 4. grupo de bombas moleculares 5. calibre de espesor de película 6. Dos fuentes de alimentación de CC y una fuente de alimentación de RF 7. unidad de refrigeración de agua 8. con mesa de muestras de calefacción giratoria sistema de control inteligente de pantalla de 9. 15,6 pulgadas 10. compresor de aire 11. válvula de compuerta neumática controlada eléctricamente 12. válvula de corte controlada eléctricamente 13. válvula de bombeo lateral neumática controlada eléctricamente 14. Rango de medición del manómetro de vacío EF kang MPG 400 |
P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos nuestro propio equipo de diseño y fábrica, tenemos una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.
P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.
P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial Alibaba.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.
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