Proveedores con licencias comerciales verificadas
Proveedor Auditado El equipo de espumador de magnetrón RF de un solo objetivo es un equipo de recubrimiento de espumación de magnetrón rentable, independientemente investigado y desarrollado por nuestra empresa. Tiene las características de estandarización, modularización y personalización. Los objetivos de magnetrón pueden seleccionarse de 1 pulgadas, 2 pulgadas y 3 pulgadas, y los clientes pueden elegir de acuerdo con el tamaño del sustrato chapado; la potencia oscila entre 500W y 1000W, que puede usarse para el recubrimiento de alta energía no metal de esputo. De acuerdo con los requisitos experimentales, también se pueden seleccionar fuentes de alimentación de CC o RF de otras especificaciones para lograr operaciones de revestimiento de diversos materiales.
El instrumento de recubrimiento tiene dos medidores de flujo de masa de alta precisión, y los clientes pueden personalizar la ruta de gas de hasta cuatro medidores de flujo de masa si tienen otros requisitos para cumplir con los requisitos de la construcción de entornos de gas complejos; El instrumento está equipado con un avanzado conjunto de bombas turbomoleculares de serie, y el vacío final puede alcanzar 5E-4PA( bomba molecular correspondiente). Al mismo tiempo, hay otros tipos de bombas moleculares disponibles para la compra. La trayectoria de gas de la bomba molecular se controla mediante múltiples válvulas solenoides, que pueden abrir la cavidad para extraer muestras sin apagar la bomba, lo que mejora considerablemente la eficiencia de su trabajo. Este producto puede estar equipado con un ordenador de control industrial integrado para controlar el sistema. El programa informático puede realizar la mayoría de las funciones, como el control del grupo de bombas de vacío y el control de la fuente de alimentación de pulverización, lo que puede mejorar aún más la eficiencia de su experimento.
Ámbito de aplicación del cotero de espumación de magnetrón de un solo objetivo:
El monopalete de sobremesa con fuente de alimentación RF es un monopalete de sobremesa con sputtering de magnetrón, puede usarse en la preparación de película metálica, y también se utiliza en campos electrónicos, campos ópticos, campo especial de preparación cerámica, seguramente puede usarse en la preparación de muestras SEM en laboratorio.este modelo está equipado con energía RF suministro, especialmente adecuado para el revestimiento de materiales no metálicos u otros materiales no conductores.
Este juego está equipado con una cavidad de acero inoxidable de alto vacío, la cavidad está fijada con un deflector de ventana de observación de cuarzo, que es fácil de observar y registrar el experimento; el diseño de la cavidad con un excelente rendimiento de vacío y forma pequeña lo hace muy adecuado para el uso en laboratorio. Al mismo tiempo, el equipo está equipado con una mesa de muestras de calefacción giratoria, que puede mejorar de forma eficaz la uniformidad de la película y la calidad de la película. La máquina adopta un diseño modular, una lógica de operación simple, una interfaz de operación intuitiva, fácil de comenzar.
| Instrumento de recubrimiento de esputo de magnetrón RF de un solo objetivo | ||
| Plataforma de muestras | Dimensiones | φ150mm |
| Rango de calefacción | Temperatura ambiente~500ºC. | |
| Velocidad ajustable | 1-20rpm ajustable | |
| magnético control objetivo pistola |
Plano de destino | Blanco de plano circular |
| Vacío de pulverización | 10pA~0,2Pa | |
| Diámetro objetivo | 50~50,8mm | |
| Espesor objetivo | 2~5mm | |
| Tensión de aislamiento | >2000V | |
| Especificaciones de los cables | SL-16 | |
| Temperatura de la cabeza objetivo | <=65ºC. | |
| real nulo Cavidad cuerpo |
Tratamiento de pared interior | Pulido electrolítico |
| Tamaño de cavidad | φ300mm × 300mm | |
| Material de cavidad | acero inoxidable 304 | |
| Ventana de observación | Ventana de cuarzo, diámetro φ100mm | |
| Método abierto | Apertura superior, soporte auxiliar del cilindro | |
| gas cuerpo control sistema |
Control de flujo | Medidor de flujo de masa, rango 0~200SCCM gas argón |
| Tipo de válvula de control | Válvula de solenoide | |
| Estado estático de la válvula de control | Normalmente cerrado | |
| Medición de la linealidad | ±1,5% F.S | |
| Repetibilidad de la medición | ±0,2% F.S | |
| Medición del tiempo de respuesta | ≤8 segundos(T95) | |
| Rango de presión de trabajo | 0,3MPa | |
| Presión del cuerpo de la válvula | 3MPa | |
| Temperatura de trabajo | (5~45)ºC | |
| Material del cuerpo | Acero inoxidable 316L | |
| Tasa de fugas del cuerpo de la válvula | 1×10-8PA.m3/s | |
| Juntas de tubería | 1/4″accesorio de compresión | |
| Señal de entrada y salida | 0~5V | |
| Fuente de alimentación | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) | |
| Dimensiones totales mm | 130 (ancho) × 102 (alto) × 28 (grosor) | |
| Interfaz de comunicación | RS485 Protocolo MODBUS | |
| Fuente de alimentación de RF | Potencia | 500W |
| Tensión de salida | 0~600V | |
| Duración de la temporización | 65000 segundos | |
| Hora de inicio | de 1 a 10 segundos | |
| Medición del grosor de la película | Requisitos de alimentación | RF: 5V(±10%) corriente máxima 400mA |
| Resolución | ±0,03Hz(5-6MHz),0.0136Å / medición (aluminio) | |
| Precisión de medición | ±0,5% de grosor + 1 cuentas | |
| Período de medición | 100ms~1S/hora (se puede ajustar) | |
| Rango de medición | 500.000 Å (aluminio) | |
| Frecuencia cristalina | 6MHz | |
| Interfaz de comunicación | Interfaz serie RS-232/485 | |
| Mostrar dígitos | Display LED de 8 dígitos | |
| Bomba molecular | Velocidad de bombeo de la bomba molecular | 80L/S |
| Velocidad nominal | 65000rpm | |
| Valor de vibración | <=0,1um | |
| Hora de inicio | <=4,5min | |
| Tiempo de inactividad | <7min | |
| Método de enfriamiento | Refrigerado por aire | |
| Temperatura del agua de refrigeración | <=37ºC. | |
| Caudal de agua de refrigeración | 1L/min | |
| Dirección de instalación | Vertical ±5° | |
| Puerto de aspiración | 150CF | |
| Conexión de escape | KF40 | |
| Bomba de avance | Velocidad de bombeo | 1,1L/S(VRD-4) |
| Vacío final | 5e-4PA(bomba molecular correspondiente) | |
| Fuente de alimentación | AC:220V/50Hz | |
| Potencia | 400W | |
| Ruido | <=56db | |
| Puerto de aspiración | KF40 | |
| Conexión de escape | KF25 | |
| Válvula de descarga | La válvula de descarga de aire neumática y controlada electrónicamente está instalada en la cámara de vacío | |
| El vacío definitivo de toda la máquina | <=5×10-4PA | |
| Velocidad de impulso de la cámara de vacío | <=2,5Pa/h | |
| Sistema de software | 1 conjunto de software de supervisión y gestión | |
| Objetivo de prueba | 2 objetivos de cobre con un diámetro de 2 pulgadas y. un espesor de 3 mm | |
Notas:
1. Tenemos magnetrón esputtering coater con 1 objetivos, 2 objetivos, 3 objetivos, objetivo puede ser diseñado en la parte superior o inferior de la cámara.
2. Se dispone de alimentación de CC o destino de potencia de RF
3. El material objetivo es opcional
4. El objetivo magnético fuerte y el objetivo magnético permanente son opcionales
5. El magnetrón esputtering coater con fuente de evaporación está disponible
6. Servicio personalizado siempre disponible!
P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, con nuestro propio equipo de diseño y fábrica con una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.
P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.
P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda su uso en la Garantía Comercial de China.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.
Si tiene más preguntas, póngase en contacto con nosotros.
Proveedores con licencias comerciales verificadas
Proveedor Auditado 
