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Proveedor Auditado Sistema de depósito de espumación de magnetrón de laboratorio con potencia de CC y RF suministro
ESPUMACIÓN DE MAGNETRÓN: DESCRIPCIÓN GENERAL
El esputo es un proceso de deposición basado en plasma en el cual los iones energéticos se aceleran hacia un objetivo. Los iones golpean el objetivo y los átomos son expulsados (o escupidos) de la superficie. Estos átomos viajan hacia el sustrato e incorporan en la película creciente.
Características del magnetrón esputtering coater:
1. El coater de esputo de magnetrón de triple objetivo es un equipo de recubrimiento de esputo de magnetrón rentable. Es estandarizado, modular y personalizable.
2. Hay objetivos de magnetrón de 1, 2 y 3 pulgadas. Puede elegir el objetivo según el tamaño del sustrato que se va a revestir.
3. El magnetrón esputtering coater está equipado con 500W DC de potencia y 500W RF de potencia. La potencia de CC se utiliza para los materiales conductivos, y la potencia de RF se utiliza para los materiales aislantes. Potencia de 300W a 1000W pulg. Según sus necesidades.
4. El magnetrón esputtering coater está equipado con dos canales de alta precisión caudalímetro de masa. Los caudalímetros de masa de cuatro canales es
disponible
5. El magnetrón esputtering coater está equipado con bomba turbo-molecular, y el vacío final es de hasta 10E-5Pa, otros tipos de bombas moleculares están disponibles para la compra.
6. La trayectoria del gas de la bomba molecular se controla mediante múltiples válvulas solenoides, puede abrir la cámara para extraer la muestra sin
apagando la bomba.
7. Este producto puede estar equipado con un ordenador industrial integrado para controlar el sistema.
Especificaciones del espumador de magnetrón:
| Nombre del producto | Coipa de esputo de magnetrón de triple objetivo | |
| Plataforma de muestras | Tamaño | Dia.150mm |
| Temperatura de calentamiento | Máx. 500ºC. | |
| Precisión de temperatura | ±1ºC. | |
| Velocidad de rotación | 1-20rpm ajustable | |
| Objetivo de espumación de magnetrón | Cantidad | 2"×3 (1",2" opcional) |
| Modo de refrigeración | Refrigeración por agua | |
| Enfriador de agua | Enfriador de agua circulante con caudal de 10L/min | |
| Cámara de vacío | Tamaño de la cámara | Dia.300*300mm |
| Material de la cámara | Acero inoxidable | |
| Ventana de vigilancia | Dia.100mm | |
| Modo de apertura | Abertura superior | |
| Caudalímetro de masa | 2 canales; rango de medición 100SCCM; 100SCCM (se puede personalizar según las necesidades del cliente) | |
| Sistema de vacío | Modelo | CY-GZK103-A |
| Bomba molecular | 600L/s | |
| Bomba de respaldo | 1,1L/s | |
| Vacío final | 1,0E-5Pa | |
| Interfaz de bombeo | CF160 | |
| Interfaz de escape | KF40 | |
| Medición de vacío | Indicador de vacío compuesto | |
| Fuente de alimentación | AC;220V 50/60Hz | |
| Velocidad de bombeo | Aspire hasta 1,0E-3PA en 20 minutos | |
| Configuración de alimentación | Cantidad | Fuente de alimentación de CC x2 Fuente de alimentación de RF x1 |
| Potencia de salida máxima | DC 500 W, RF 300W | |
| Otros parámetros | Tensión de alimentación | ac220v,50Hz |
| Potencia total | 4KW | |
| Tamaño total | 600mm×650mm×1280mm | |
| Peso total | Alrededor de 350kg | |
1. Tenemos un matador de espumación de magnetrón con 1 objetivos, 2 objetivos, 3 objetivos, 4 pastos, etc. el objetivo puede ser diseñado en la parte superior o inferior de la cámara.
2. 0-1000W se dispone de potencia de CC o de destino de potencia de RF. La función de sesgo es opcional.
3. Tamaño objetivo: 1 pulgadas, 2 pulgadas, 3 pulgadas, 4 pulgadas, etc.
4. Blanco magnético fuerte y blanco mágico pernanente es opcional
5. Magnetrón esputtering coater con evaporación, E-beam está disponible
6. Servicio personalizado siempre disponible!
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Es una empresa integral que integra diseño, investigación y desarrollo, producción y ventas.
Los principales productos de nuestra empresa son: Espumador, coater de evaporación térmica, coater de espumador de magnetrón, coater de espumador de plasma, coater de evaporación de haz electrónico, Máquina de recubrimiento láser de impulsos PLD, limpiador de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de hilo de diamante, horno de fusión/estufa, horno de fusión de arco, etc.
Nuestros productos se utilizan ampliamente en el campo de la investigación científica de materiales. Tenemos una amplia cooperación con universidades nacionales, laboratorios y nuevas empresas de materiales. Ha sido exportado con éxito a más de 20 países y regiones, incluyendo los Estados Unidos, el Reino Unido, Alemania, Rusia, Suiza, Canadá, Brasil, etc. y han establecido relaciones de cooperación a largo plazo con los comerciantes locales.
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Podemos enviar el magnetrón esputter coater por tierra, por mar, por aire, por expreso, también puede organizar el paquete y el envío de acuerdo con sus necesidades.
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
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