Servicio postventa: | 12 meses |
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Garantía: | 12 meses |
Tipo: | Línea de Producción de Revestimiento |
Revestimiento: | Revestimiento de Vacío |
Sustrato: | Acero |
Certificación: | CE |
Proveedores con licencias comerciales verificadas
El equipo de espumador de magnetrón dc de un solo objetivo es un equipo de recubrimiento de espumación de magnetrón rentable, independientemente investigado y desarrollado por nuestra empresa. Tiene las características de estandarización, modularización y personalización. Los objetivos de magnetrón pueden seleccionarse entre 1 pulgadas, 2 pulgadas y 3 pulgadas, y los clientes pueden elegir según el tamaño del sustrato chapado; la fuente de alimentación es una fuente de alimentación de CC de alta potencia de 1500W, que puede usarse para el revestimiento de pulverización de metal de alta energía. De acuerdo con los requisitos experimentales, también se pueden seleccionar fuentes de alimentación de CC o RF de otras especificaciones para lograr operaciones de revestimiento de diversos materiales.
El instrumento de recubrimiento tiene dos medidores de flujo de masa de alta precisión, y los clientes pueden personalizar la ruta de gas de hasta cuatro medidores de flujo de masa si tienen otros requisitos para cumplir con los requisitos de la construcción de entornos de gas complejos; El instrumento está equipado con un avanzado conjunto de bombas turbomoleculares de serie, y el vacío final puede alcanzar 1,0E-5Pa. Al mismo tiempo, hay otros tipos de bombas moleculares disponibles para la compra. La trayectoria de gas de la bomba molecular se controla mediante múltiples válvulas solenoides, que pueden abrir la cavidad para extraer muestras sin apagar la bomba, lo que mejora considerablemente la eficiencia de su trabajo. Este producto puede estar equipado con un ordenador de control industrial integrado para controlar el sistema. El programa informático puede realizar la mayoría de las funciones, como el control del grupo de bombas de vacío y el control de la fuente de alimentación de pulverización, lo que puede mejorar aún más la eficiencia de su experimento.
Ámbito de aplicación del cotero de espumación de magnetrón de un solo objetivo:
El tintero de magnetrón dc de un solo objetivo puede usarse para preparar películas ferroeléctricas de una sola capa, películas conductoras, películas de aleación, etc. comparado con equipos similares, este instrumento de recubrimiento de tintero de magnetrón de un solo objetivo no solo se utiliza ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un pequeño tamaño y un funcionamiento sencillo. Es un equipo ideal para la preparación de laboratorio de películas finas de material, y es especialmente adecuado para la investigación de laboratorio en electrolitos sólidos y OLED, etc.
Parámetros técnicos del cotero de esputo de magnetrón de un solo objetivo:
Instrumento de recubrimiento de espumación de magnetrón dc de un solo objetivo | ||
Plataforma de muestras | Dimensiones | φ185mm |
Rango de calefacción | Temperatura ambiente~500ºC. | |
Velocidad ajustable | 1-20rpm ajustable | |
magnético control objetivo pistola |
Plano de destino | Blanco de plano circular |
Vacío de pulverización | 10pA~0,2Pa | |
Diámetro objetivo | 50~50,8mm | |
Espesor objetivo | 2~5mm | |
Tensión de aislamiento | >2000V | |
Especificaciones de los cables | SL-16 | |
Temperatura de la cabeza objetivo | <=65ºC. | |
real nulo Cavidad cuerpo |
Tratamiento de pared interior | Pulido electrolítico |
Tamaño de cavidad | φ325mm * 500mm | |
Material de cavidad | acero inoxidable 304 | |
Ventana de observación | Ventana de cuarzo, diámetro φ100mm | |
Método abierto | Apertura superior, soporte auxiliar del cilindro | |
gas cuerpo control sistema |
Control de flujo | Medidor de flujo de masa, rango 0~200SCCM gas argón |
Tipo de válvula de control | Válvula de solenoide | |
Estado estático de la válvula de control | Normalmente cerrado | |
Medición de la linealidad | ±1,5% F.S | |
Repetibilidad de la medición | ±0,2% F.S | |
Medición del tiempo de respuesta | ≤8 segundos(T95) | |
Rango de presión de trabajo | 0,3MPa | |
Presión del cuerpo de la válvula | 3MPa | |
Temperatura de trabajo | (5~45)ºC | |
Material del cuerpo | Acero inoxidable 316L | |
Tasa de fugas del cuerpo de la válvula | 1×10-8PA.m3/s | |
Juntas de tubería | 1/4″accesorio de compresión | |
Señal de entrada y salida | 0~5V | |
Fuente de alimentación | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) | |
Dimensiones totales mm | 130 (ancho) × 102 (alto) × 28 (grosor) | |
Interfaz de comunicación | RS485 Protocolo MODBUS | |
Fuente de alimentación de CC | Potencia | 500W |
Tensión de salida | 0~600V | |
Duración de la temporización | 65000 segundos | |
Hora de inicio | de 1 a 10 segundos | |
Medición del grosor de la película | Requisitos de alimentación | DC:5V(±10%) corriente máxima 400mA |
Resolución | ±0,03Hz(5-6MHz),0.0136Å / medición (aluminio) | |
Precisión de medición | ±0,5% de grosor + 1 cuentas | |
Período de medición | 100ms~1S/hora (se puede ajustar) | |
Rango de medición | 500.000 Å (aluminio) | |
Frecuencia cristalina | 6MHz | |
Interfaz de comunicación | Interfaz serie RS-232/485 | |
Mostrar dígitos | Display LED de 8 dígitos | |
Bomba molecular | Velocidad de bombeo de la bomba molecular | 80L/S |
Velocidad nominal | 65000rpm | |
Valor de vibración | <=0,1um | |
Hora de inicio | <=4,5min | |
Tiempo de inactividad | <7min | |
Método de enfriamiento | Refrigerado por aire | |
Temperatura del agua de refrigeración | <=37ºC. | |
Caudal de agua de refrigeración | 1L/min | |
Dirección de instalación | Vertical ±5° | |
Puerto de aspiración | 150CF | |
Conexión de escape | KF40 | |
Bomba de avance | Velocidad de bombeo | 1,1L/S(VRD-4) |
Vacío final | 5×10-2PA | |
Fuente de alimentación | AC:220V/50Hz | |
Potencia | 400W | |
Ruido | <=56db | |
Puerto de aspiración | KF40 | |
Conexión de escape | KF25 | |
Válvula de descarga | La válvula de descarga de aire neumática y controlada electrónicamente está instalada en la cámara de vacío | |
El vacío definitivo de toda la máquina | <=5×10-4PA | |
Velocidad de impulso de la cámara de vacío | <=2,5Pa/h | |
Sistema de software | 1 conjunto de software de supervisión y gestión | |
Objetivo de prueba | 2 objetivos de cobre con un diámetro de 2 pulgadas y. un espesor de 3 mm |
P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos nuestro propio equipo de diseño y fábrica, tenemos una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.
P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.
P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial Alibaba.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.
Si tiene más preguntas, póngase en contacto con nosotros.
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