Coater de triple objetivo de laboratorio con objetivo Magnetron y tabla de vibración Para películas no metálicas y metálicas

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Type: Coating Production Line
• Coating: Vacuum Coating
• Substrate: Steel
• Certification: CE
• No. de Modelo.: TN-MSH300S-DCDCRF
• Condition: New
• modo de refrigeración: refrigeración por agua
• temperatura de calentamiento: máx. 500ºc.
• velocidad de rotación: 1-20rpm ajustable
• tamaño del sustrato: diámetro 185mm
• cámara de vacío: acero inoxidable
• Magnetron Sputtering Target Head: 3 Magnetron Sputtering Heads
• tamaño de la plataforma de muestra: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• velocidad de rotación: 1-20 Rpm (Adjustable)
• la temperatura de calentamiento más alta: 500ºc.
• precisión de control de temperatura: +/- 1.0 °c
• controlador de flujo de gas: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• bomba de vacío: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• sistema de refrigeración: 16l/min
• Paquete de Transporte: Fumigated Wooden Box
• Especificación: 1090mm*900mm*1250mm
• Marca Comercial: TN
• Origen: China
• Código del HS: 8486209000
• Capacidad de Producción: 200/Month

Descripción de Producto

 Coater de triple objetivo de laboratorio con objetivo Magnetron y tabla de vibración
Para películas no metálicas y metálicas

 

Breve introducción
El instrumento de recubrimiento de espumación de magnetrón de tres objetivos es un equipo de recubrimiento de espumación de magnetrón rentable desarrollado independientemente por nuestra empresa, que tiene las características de estandarización, modularización y personalización.

El equipo puede usarse para preparar películas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleación, películas de semiconductores, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de politetrafluoroetileno, etc..

La fuente de alimentación de CC puede utilizarse para la preparación de películas metálicas, la fuente de alimentación de RF puede utilizarse para la preparación de películas no metálicas, y los tres objetivos pueden satisfacer las necesidades de revestimiento múltiple o múltiple. En comparación con equipos similares, el instrumento de recubrimiento de espumación de magnetrón de tres objetivos no solo se utiliza ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un pequeño volumen y un funcionamiento sencillo. Es un equipo ideal para preparar películas de material en el laboratorio.

 Parámetros técnicos

Tres objetivo magnetrón máquina de revestimiento de esputo (Fuente de alimentación de CC + fuente de alimentación de RF)
Muestra tabla	Modo de pulverización	La plataforma de muestras está situada encima de la objetivo de pulverización; Soporte de muestras de ajuste superior central, con un obturador
	Soporte de muestras	φ150mm
	Precisión de control	±1ºC.
	Rango de calefacción	Temperatura ambiente~500ºC.
	Velocidad ajustable	1-20rpm ajustable
	Distancia base objetivo ajustable	La distancia entre el objetivo y el sustrato puede ser ajuste eléctrico
Magnetrón pistola objetivo	Plano de destino	Blanco de plano circular
	Vacío de pulverización	10pA~0,2Pa
	Diámetro objetivo	50~50,8mm
	Espesor objetivo	2~5mm Nota: Si el objetivo es material magnético (como Fe, Co, ni), el grosor no puede ser superior a 1,5mm y se requiere una pistola de pulverización magnética fuerte,   se necesita un cargo extra.
	Tensión de aislamiento	>2000V
	Cantidad	2 pulgadas*3;con obturadores para cada arma
	Especificación de cable	SL-16
	Temperatura de la cabeza objetivo	<=65ºC.
Vacío  cámara	Tratamiento de pared interior	Pulido electrolítico
	Tamaño de la cámara	φ325mm * 500mm
	Material de la cámara	acero inoxidable 304
	Ventana de observación	Ventana de cuarzo, diámetro φ100mm con obturador
	Método de sellado	Sello Viton
	Método abierto	Apertura superior, soporte auxiliar del cilindro
Sistema de control de gas	Control de flujo	caudalímetro de masa de 1 vías: Oxígeno: Rango 0~100SCCM o. Gas argón: Rango 0~200SCCM o. Nitrógeno: Rango 0~500SCCM (Nota: Para lograr un ambiente más alto libre de oxígeno, el vacío la cámara debe limpiarse con gas inerte de alta pureza al menos 3 veces.)
	Tipo de gas	Argón, nitrógeno, oxígeno y otros gases inertes
	Tipo de válvula de control	Válvula de solenoide
	Estado estático de la válvula de control	Normalmente cerrado
	Medición de la linealidad	±1,5% F.S
	Repetibilidad de la medición	±0,2% F.S
	Medición del tiempo de respuesta	≤8 segundos (T95)
	Rango de presión de trabajo	0,3MPa
	Presión del cuerpo de la válvula	3MPa
	Temperatura de trabajo	(5~45)ºC
	Material del cuerpo	Acero inoxidable 316L
	Tasa de fugas del cuerpo de la válvula	1×10-8PA.m3/s
	Juntas de tubería	1/4″accesorio de compresión
	Señal de entrada y salida	0~5V
	Fuente de alimentación	±15V(±5%)(+15V 50mA,    -15V 200mA)
	Dimensiones totales (mm)	130 (ancho) × 102 (alto) × 28 (grosor)
	Interfaz de comunicación	RS485 Protocolo MODBUS
Fuente de alimentación de CC	Fuente de alimentación	500W
	Tensión de salida	0~600V
	Corriente de salida máxima	1A
	Duración de la temporización	65000 S
	Hora de inicio	1 A 10 S
	Cantidad	2 juegos
Potencia de RF suministro	Fuente de alimentación	500W
	Rango de potencia de salida	0W-500W, con comparación automática
	Potencia máxima reflejada	100W
	Frecuencia de RF	Estabilidad del 13,56MHz+/-0,005%
	Estabilidad de potencia	≤5W
	Componente armónico	menos de -50dbc
	Cantidad	juego 1

Fotos detalladas

Perfil de la empresa

 

PREGUNTAS FRECUENTES

P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?

R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, con nuestro propio equipo de diseño y fábrica con una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.

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R.  el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.

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A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.

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A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial Alibaba.

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A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.

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