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TN-SPC-1-LD es una pistola de esputtering magnetrón con una cabeza flexible capaz de acomodar una amplia gama de fuentes de esputtering de 1" de diámetro. Su compatibilidad con fuentes de alimentación dc, dc y RF de pulsos garantiza la máxima versatilidad y amplía su uso a varios objetivos de pulverización (por ejemplo, metálicos, eléctricamente aislantes, magnéticos o no magnéticos, etc.). Además, su diseño de alto vacío hace que el uso de Argon bajo niveles de baja presión mejore la calidad del recubrimiento reduciendo las colisiones de gas dentro de la cámara.
Los imanes circulares Nd-Fe-B de tierras raras aislados del agua de refrigeración se implementan en el diseño para minimizar las interfaces agua-vacío que se encuentran típicamente en otras fuentes de pulverización. Estos imanes son reemplazables en campo y hacen que la pistola de pulverización sea fácil de operar y mantener. La instalación de este aparato es directa y también ofrece cambios de blanco simples que no requieren ningún tipo de unión de blanco.
Especificaciones
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Características |
Alta fuerza de campo y perfil de campo uniforme logrado mediante el uso de cálculos de elementos finitos electromagnéticos en el diseño del conjunto magnético permanente Cabezal de pulverización de baja impedancia y conector RF estándar que se adaptan fácilmente a una amplia gama de fuentes de alimentación de agitación dc y RF. Instalación sencilla con herramientas comunes. Los imanes están aislados del agua de refrigeración con el revestimiento protector contra la corrosión para maximizar la durabilidad. La fuente de pulverización es de hasta 200°C. Se incluye una placa de soporte de cobre de 1". Eje de ¾" de diámetro exterior estándar Acepta objetivos de 3/8" (1 mm) de grosor; se incluye un objetivo de cobre de 1 piezas como accesorio estándar |
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Pistola de pulverización |
Diámetro de cabeza de pulverización: 1,82" (46,3mm) Diámetro objetivo: 1,0 ± 0,02" (25,4mm) Grosor máximo objetivo: 1/8" (3mm) Imanes: Imán de Tierra rara NdFeB Diámetro del eje: 3/4" D.E. |
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Conector eléctrico |
Se incluye el conector hembra HN estándar (dc y RF) Conector de cable SL16 opcional Se recomienda un cable RF de 148 cm con un coste adicional |
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Requisitos de alimentación |
CC (máx.) 250 W RF (máx.)100 W |
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Corriente de esputo de cátodo |
3 amperios (máx.) |
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Tensión de pulverización de cátodo |
200 - 1.000 V. |
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Rango de presión de funcionamiento |
~1 mTorr a 1 Torr |
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Refrigeración por agua (necesaria) |
Caudal requerido: 1/2 GPM, filtrado Temperatura de entrada de agua: <20 C Conexión de agua: 0,25" D.E. desconexiones rápidas |
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Conexiones eléctricas y de montaje |
Conector eléctrico: Tipo HN estándar (DC y RF) Se incluye desconexión rápida de vacío alto. |
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Longitud total |
14 pulgadas |
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Peso neto |
3 lbs |
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Conjunto de inclinación |
La cabeza de pulverización puede inclinarse +/- 45 grados para ajustar el ángulo de incidencia de los bombardeos para mejorar el rendimiento de pulverización. Las líneas trazadas en el conjunto de inclinación ofrecen ajustes precisos del ángulo. |
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Garantía |
Un año limitado con soporte de por vida |
P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, con nuestro propio equipo de diseño y fábrica con una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.
P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.
P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar Made en la Garantía Comercial de China.
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A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.
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