Boquilla de magnetrón de doble objetivo y máquina de recubrimiento PVD de evaporación térmica

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Tipo: espumación de magnetrón
• Revestimiento: Revestimiento de Vacío
• Sustrato: Acero
• Certificación: CE
• No. de Modelo.: TN-MS500S-2TA1S
• Condición: Nueva
• nombre del producto: Magnertron Sputter Coater
• método de recubrimiento: espumación de magnetrón
• Target Power: DC 500W
• tamaño de la cámara: 300*300mm
• tamaño del sustrato: 150mm
• Substrate Heating: Max. 500c
• tamaño objetivo: 2inch*2
• fuente de alimentación: ac 220v
• bomba de paletas rotativas: 1,1l/s
• Thermal Evaporation: 1500c
• material de la cámara: ss304
• Paquete de Transporte: Fumigated Wooden Box
• Especificación: 550*350*500mm
• Marca Comercial: TN
• Origen: China
• Capacidad de Producción: 20 Sets Per Month

Descripción de Producto

Descripción del producto

ESPUMACIÓN DE MAGNETRÓN: DESCRIPCIÓN GENERAL

El esputo es un proceso de deposición basado en plasma en el cual los iones energéticos se aceleran hacia un objetivo. Los iones golpean el objetivo y los átomos son expulsados (o escupidos) de la superficie. Estos átomos viajan hacia el sustrato e incorporan en la película creciente.

Boquilla de magnetrón de doble objetivo y máquina de recubrimiento PVD de evaporación térmica

 Espumador de magnetrón y evaporación térmica  la máquina de recubrimiento dos en uno puede usarse para el recubrimiento de productos electrónicos, vidrio, muestras cerámicas, metal y otras muestras, especialmente adecuada para la preparación de muestras de laboratorio SEM (microscopio electrónico de barrido).
El equipo está compuesto principalmente por cámara de vacío de acero inoxidable, objetivo de espumación de magnetrón, fuente de evaporación, mesa de muestras de calefacción giratoria, unidad de bomba de vacío, medidor de vacío, sistema de admisión de aire y sistema de control.

Parámetros del producto

Especificaciones de  la doble lente de magnetrón esputante de evaporación térmica

Modelo	TN-MS500S-2TA1S
Tabla de muestra	Tamaño	150mm diám.	Calefacción	≤500ºC.
	Velocidad de rotación	1-20r/min	Control de temperatura	±1ºC.
Cabeza de la trompeta de magnetrón	Cantidad	2 pulgadas ×2	Modo de refrigeración	Refrigerado por agua
Evaporación térmica	fuente del evaporador	Cesta de alambre de tungsteno	Temp. Máx	1500ºC.
	Termopar	Tipo s.
Cámara de vacío	Tamaño	300mmDia.× 300mmH	Ventana de vigilancia	100mm diám.
	Material	304 SUS	Modo abierto	Puerta de apertura delantera
Sistema de vacío	Bomba mecánica	Bomba de paletas rotativas	Interfaz de extracción	KF16
	Bombeo	1,1L/s
	Bomba molecular	Bomba molecular turbo	Interfaz de extracción	CF150
	Bombeo	600L/s	Interfaz de escape	KF40
	Indicador de vacío	Indicador de resistencia + indicador de ionización
	Grado de vacío final	1,3x10-4PA	Fuente de alimentación	AC;220V 50/60Hz
Fuente de alimentación del canal	Fuente de alimentación de CC	juego 1	Potencia de salida	≤1000W
	Tensión de salida	≤600W	Tiempo de respuesta	<5ms
	Fuente de alimentación de RF	juego 1	Potencia de salida	≤1000W
	Estabilidad de potencia	≤5W
	Frecuencia de RF	13,56MHz	Estabilidad de RF	±0,005%
Medidor de grosor de película	Resolución	±0,03Hz	Precisión	±0,5%
	Límite de rango superior	50000	Velocidad	100~1000ms
Sistema refrigerado por agua	Volumen del tanque	9L	Flujo	10L/min
Sistema de gas	Tipo de caudalímetro	MFC(caudalímetro de masa)	Rango	200sccm
	Tipo de gas	AR
Otros	Alimentación de entrada	ac220v,50Hz	Tamaño	1400 x 750x1300 mm
	Potencia total	4kw(sistema principal+bomba de vacío)	Peso	295kg

Fotos detalladas

1. Tenemos magnetrón esputtering coater con 1 objetivos, 2 objetivos, 3 objetivos, objetivo puede ser diseñado en la parte superior o inferior de
   la cámara.
2. Se  encuentra disponible un destino de CC o RF.
3. El material objetivo es opcional
4. Blanco magnético fuerte y blanco mágico pernanente es opcional
5. El magnetrón esputtering coater con fuente de evaporación está disponible
6. Servicio personalizado siempre disponible!

Coater de doble objetivo con potencia de 2 DC

 Coater de esputo de magnetrón de doble objetivo  con plataforma de muestreo alternativo

 Coater de espita de magnetrón de doble objetivo con blanco inferior

Coater de esputo doble con fuente de evaporación térmica

Perfil de la empresa

Embalaje y envío

Podemos enviar el magnetrón esputter coater por tierra, por mar, por aire, por expreso, también puede organizar el paquete y el envío de acuerdo con sus necesidades.

PREGUNTAS FRECUENTES

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R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.  

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