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Proveedor Auditado Sistema de esputo de evaporación de alta vacío de varias fuentes
Para películas delgadas de metal y no metálicas
Este equipo es un equipo multi-fuente de recubrimiento de evaporación de alto vacío. El equipo adopta un diseño de cámara de vacío de apertura delantera. La cámara tiene un gran espacio y una gran capacidad de ampliación, que puede satisfacer el recubrimiento de evaporación de múltiples tipos de muestras de gran tamaño. La cámara tiene una plataforma de muestras superior en el interior, y las piezas de montaje de muestras de tipo sujeción o sujeción pueden seleccionarse de acuerdo con el estilo de muestra del usuario. La mesa de muestras se puede girar, calentar y subir y bajar, y todas las operaciones se integran y controlan a través de la pantalla táctil. El conjunto de bombas de vacío del equipo es un sistema de vacío de dos etapas, que se compone de una bomba de vacío de paletas rotativas de dos etapas y una bomba molecular turbo. Puede proporcionar un entorno de alto vacío limpio y exento de aceite para la prueba de recubrimiento de vacío; el sistema de vacío contiene un sistema de válvulas neumáticas completo, y el usuario puede realizar operaciones de un solo toque a través de la pantalla táctil para realizar la aspiración, carga y descarga de muestras sin parar, parada completa y otras operaciones.
El equipo tiene dos conjuntos de fuentes de evaporación. Adopta una fuente de evaporación de un barco de tungsteno y electrodos de cobre refrigerados por agua. Puede soportar una corriente máxima de 300A y una temperatura de calentamiento de hasta 3000ºC. Puede darse cuenta de la evaporación de varios metales refractarios. Este equipo adopta un diseño integrado, y la cámara y la parte de control eléctrico se separan de izquierda a derecha, lo que realiza la separación de agua y electricidad, y garantiza efectivamente la seguridad de los usuarios. La parte de control eléctrico adopta el diseño de la combinación de pantalla táctil y panel de botones. El sistema de vacío, la mesa de muestras y otras funciones auxiliares se accionan mediante la pantalla táctil con un solo botón. La evaporación y el control de espesor de la película son operados independientemente por el panel, que es tan conveniente para los usuarios como sea posible, evitando la posibilidad de un mal funcionamiento. El equipo está bien diseñado y tiene un excelente rendimiento, y es una elección indispensable para el laboratorio de alta precisión de prueba de recubrimiento por evaporación.
| Plataforma de muestras | Tamaño | Muestra de soporte máx. φ150mm |
| Altura | Ajustable arriba y abajo 70mm | |
| Fuente de evaporación | Cantidad | Barco de tungsteno * 2 |
| Cámara de vacío | Tamaño de la cámara | Diám. 325mm * 600mm |
| Material de la cámara | acero inoxidable 304 | |
| Ventana de observación |
Frontal φ100mm con hoja de sombreado | |
| Método de apertura | Puerta delantera abierta | |
| Control de grosor de película | Instrumento de medición del espesor de película vibratoria de cristal, controlador de espesor de película multicanal opcional | |
| Sistema de vacío | Bomba de respaldo | Bomba de paletas rotativas de dos etapas |
| Puerto de bombeo | KF16 | |
| Bomba secundaria | Bomba molecular turbo | |
| Puerto de bombeo | CF160 | |
| Medición de vacío | Indicador de vacío compuesto de resistencia + ionización | |
| Vacío final | 1,0E-5Pa | |
| Velocidad de bombeo | Bomba de paletas rotativas: 1,1L / S | |
| Velocidad de escape | Bomba mecánica 1,1L / s bomba molecular 600L / s | |
| Fuente de alimentación | AC 220V 50/60Hz | |
| Caudalímetro | Medidor de flujo de masa de un canal 500sccm Ar gas | |
| Sistema de control | Control automático del PLC Interfaz de funcionamiento: Pantalla táctil + panel de operaciones |
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| Otros | Tensión de alimentación | AC380V,50Hz |
| Potencia total | 5kw | |
| Tamaño de la máquina | 1000mm * 900mm * 1500mm | |
| Peso de la máquina | 350kg | |
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