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Proveedor Auditado 12 pulgadas tubo de cuarzo Coater de evaporación con cámara de 5 pulgadas Para Reaseach de revestimiento de células solares
RESUMEN--EVAPORACIÓN TÉRMICA
La evaporación térmica es una técnica popular de deposición de vapor físico debido a su simplicidad. Durante este proceso, un material en un ambiente de alto vacío se calienta a su punto de evaporación por joule calentamiento de la embarcación resistiva en la que se encuentra. Las moléculas vaporizadas luego viajan de la fuente al sustrato donde se nuclean juntas, formando una capa fina de película. Una amplia variedad de materiales pueden depositarse usando esta técnica como aluminio, plata, níquel, cromo, magnesio, entre muchos otros.
Especificaciones del coater de evaporación térmica:
| Elementos | Detalle |
| Tensión de alimentación | ac220v,50/60Hz |
| Potencia máxima | 10KW |
| Estructura | Se utilizan dos controladores de temperatura para controlar los dos conjuntos superior e inferior de elementos calefactores respectivamente. Se instala un caudalímetro de flotador y se puede introducir gas en la cámara de vacío. |
| Parámetros básicos | Temperatura de trabajo: Hasta 800C Velocidad de calentamiento recomendada: ≤10C/s (cada zona de temperatura se calienta por separado) |
| Precisión de control de temperatura | Se utilizan dos conjuntos de lámparas de infrarrojos como elementos calefactores, que se encuentran en la parte superior e inferior respectivamente. Para reducir la radiación de calor y lograr una velocidad de enfriamiento más rápida, los elementos calefactores se instalan en una carcasa de acero inoxidable con una capa intermedia refrigerada por agua (la carcasa de acero inoxidable está hecha de acero inoxidable 316. Adopta conductividad térmica. Una lámina cerámica de nitruro de aluminio de alta velocidad (X5" 5 XO. 5nn] grosor) se utiliza como plataforma de muestras para lograr una mejor uniformidad de calentamiento. La plataforma de muestras inferior. Se puede colocar un crisol de grafito de 5° X5* para mantener las materias primas evaporadas. |
| Sistema de control de temperatura | Dos sistemas de control de temperatura precisos controlan de forma independiente las zonas de calefacción superior e inferior, y pueden establecer programas de calefacción y refrigeración de 30 etapas. Cada sistema de control de temperatura está equipado con protección contra sobretemperatura y roturas de pareja. Interfaz de comunicación con PC, software puede ser instalado, el programa de control de temperatura puede ser instalado. Y la curva de temperatura se importa en el ordenador. |
| Elemento de medición de temperatura | Dos termopares tipo K. , montados en la parte superior e inferior, están en contacto con las láminas cerámicas de nitruro de aluminio. |
| Precauciones de uso | 1. La presión de aire en el tubo del horno no debe ser superior a 0,02MPa 2. Debido a la alta presión de aire dentro de la botella de gas, se debe instalar una válvula reductora de presión en el gas cilindro cuando se introduce gas en el tubo del horno. Se recomienda adquirir una reducción de presión válvula en nuestra empresa. Más preciso y seguro de usar 3. La presión de aire en el tubo del horno no debe ser superior a 0,02MPa 4. Debido a la alta presión de aire dentro de la botella de gas, se debe instalar una válvula reductora de presión en el gas cilindro cuando se introduce gas en el tubo del horno. Se recomienda adquirir una reducción de presión válvula en nuestra empresa. será más precisión y seguridad 5. Cuando la temperatura del cuerpo del horno es superior a 1000C, el tubo del horno no puede estar en vacío y la presión del aire en el tubo del horno debe ser igual a la presión atmosférica y mantenerse en presión normal. 6. El flujo de gas en el tubo del horno debe ser inferior a 200SCCM para evitar el impacto del frío flujo atmosférico en el tubo de cuarzo de calefacción 7. Temperatura de uso a largo plazo del tubo de cuarzo < 1100C 8. Para el experimento de calentamiento de muestras, no se recomienda cerrar la válvula de escape y la válvula de admisión en el extremo de la brida del tubo del horno. 9. Si necesita cerrar la válvula de aire para calentar la muestra, debe prestar atención siempre a la indicación de la manómetro. 10. Si la indicación de presión de aire es superior a 0,02MPa, la válvula de ventilación debe abrirse inmediatamente a. evitar accidentes (como rotura del tubo del horno, rotura de la brida, etc.) 11.el flujo de gas en el tubo del horno debe ser menor Que 200SCCM para evitar el impacto del frío flujo atmosférico en el tubo de cuarzo calentado. 12. La temperatura de uso a largo plazo del tubo de cuarzo es < 1100C, 0,02MPa, la válvula de ventilación debe abrirse inmediatamente para evitar accidentes (como rotura del tubo del horno, rotura de la brida, etc.) |
| Método de apertura | Cubierta del elevador eléctrico |
| Caudalímetro | Caudalímetro de flotador de dos vías |
1. Tenemos un coater de evaporación térmica con 1/2/3/4/8... fuentes de evaporación, puede evaporación de metal y material orgánico
2. Material de la cámara: Cuarzo de alta pureza--- vacío bajo, cámara SS304-- vacío alto
3. El monitor de grosor de película es opcional
4. Evaporación térmica, E-beam, magnetrón esputtering en una máquina está disponible
5. Hay disponible un material diferente de la fuente de evaporación
6. Personalizar el coater de evaporación térmica de acuerdo con su proceso está disponible
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Es una empresa integral que integra diseño, investigación y desarrollo, producción y ventas.
Los principales productos de nuestra empresa son: Espumador, coater de evaporación térmica, coater de espumador de magnetrón, coater de espumador de plasma, coater de evaporación de haz electrónico, Máquina de recubrimiento láser de impulsos PLD, limpiador de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de hilo de diamante, horno de fusión/estufa, horno de fusión de arco, etc.
Nuestros productos se utilizan ampliamente en el campo de la investigación científica de materiales. Tenemos una amplia cooperación con universidades nacionales, laboratorios y nuevas empresas de materiales. Ha sido exportado con éxito a más de 20 países y regiones, incluyendo los Estados Unidos, el Reino Unido, Alemania, Rusia, Suiza, Canadá, Brasil, etc. y han establecido relaciones de cooperación a largo plazo con los comerciantes locales.
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