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LOS HMDS tienen varios usos valiosos en la ciencia de la superficie ya que se pueden utilizar como material de recubrimiento, un agente de modificación o un agente de pasivación de la superficie. A continuación analizaremos cada una de estas aplicaciones con más detalle.
LOS HMDS se utilizan como material de recubrimiento en la industria de semiconductores antes de aplicar una fotorresistente. Cuando LOS HMDS se depositan en una superficie, deja atrás a los grupos de metilo. Estos se unen con las moléculas OH en la superficie de silicio y ayudan a desarrollar una fuerte adhesión cuando se aplica una fotorresistente.
La modificación de la superficie de ciertos compuestos puede realizarse con HMDS, ya que es factible y solo tiene amoníaco como subproducto. Las superficies más comúnmente modificadas con HMDS incluyen aerogeles de sílice, que se convierten en hidrófobos durante el process,1 la opción de modificar aerogeles de sílice es necesaria para áreas de semiconductores y productos farmacéuticos, ya que el cambio de sus propiedades químicas los hace más adecuados para aplicaciones específicas. La modificación de la superficie de los materiales puede hacerlos más compatibles con técnicas de análisis de superficie como la microscopía electrónica de barrido (SEM) y la microscopía electrónica de transmisión (TEM).
La pasivación superficial es un proceso químico llevado a cabo para aumentar las propiedades superficiales de un material para que sea mejor resistente a la corrosión y la contaminación. Cuando SE utilizan HMDS para la pasivación superficial, se desarrolla una capa que actúa como un recubrimiento. Este proceso se utiliza después de que un producto ha sido fabricado y ayuda a producir un producto más robusto.
| Códigos de peligro | F,C,Xn |
| Declaraciones de riesgo | 11-20/21/22-34-52/53 |
| Declaraciones de seguridad | 16-26-36/37/39-45-61 |
| RIDADR | ONU 3286 3/PG 2 |
| WGK Alemania | 2 |
| RTECS | JM9230000 |
| F | 21 |
| Temperatura de autoignición | 325 °C. |
| Nota de peligro | Inflamable |
| TSCA | Sí |
| Código HS | 2931 90 00 |
| Clase de hazardClass | 3 |
| Grupo de empaquetaciónGrupo | II |
| Datos sobre sustancias peligrosas | 999-97-3(datos sobre sustancias peligrosas) |
| Toxicidad | LDLLO i.p. en ratones: 650 mg/kg (hojas de información de producto de Petrarch Systems Inc.) |
En la fotolitografía, LOS HMDS se utilizan a menudo como promotor de adhesión para fotorresistentes. Los mejores resultados se obtienen aplicando HMDS de la fase gaseosa en sustratos calentados.
En microscopía electrónica, LOS HMD pueden usarse como una alternativa al secado de puntos críticos durante la preparación de muestras.
En la espectrometría de masas-cromatografía de gases de pirólisis, SE añaden HMDS al analito para crear productos de diagnóstico sililados durante la pirólisis, con el fin de mejorar la detectabilidad de los compuestos con grupos funcionales polares.
En la deposición de vapor químico con plasma mejorado (PECVD), LOS HMDS se utilizan como precursor molecular como sustituto de gases altamente inflamables y corrosivos como SiH4, CH4, NH3 , ya que se pueden manipular fácilmente. HMDS se utiliza en conjunto con un plasma de varios gases como argón, helio y nitrógeno para depositar películas/recubrimientos finos SiCN con excelentes propiedades mecánicas, ópticas y electrónicas.
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