C4f6 (H-2316) el hexafluorobutadieno presenta varias ventajas para el grabado en seco de materiales a base de óxido:

• No CAS.: 685-63-2
• Fórmula: C4f6
• EINECS: C4f6
• Constituyente: Mezcla Industrial
• Estándar Grado: Grado Industrial
• Química de la propiedad: Que soportan la combustión de gas
• No. de Modelo.: C4F6
• Paquete de Transporte: Steel Cylinder
• Marca Comercial: SHINGCHEM
• Origen: China
• Código del HS: 2903399020
• Capacidad de Producción: 1000 Ton/Month

Descripción de Producto

                             
                 C4F6 (H-2316) Hexafluorobutadieno
Tiene una tasa de grabado y selectividad más altas que el octafluorociclobutano (c-C4F8 - H318), otro etchant ampliamente utilizado para el óxido de silicio. A diferencia de C4F8 (H318), con C4F6 (H2316), solo se graba el sustrato dieléctrico. La estructura grabada tiene una relación de aspecto más alta, lo que lleva a zanjas más estrechas en comparación con c-C4F8.las emisiones de COV se reducen: C4F6 (H2316) tiene un potencial de calentamiento global bajo porque tiene una vida útil mucho más corta en la atmósfera.
 

Nombre del producto:	HEXAFLUOROCYCLOBUTENE	Pureza:	99,9~99,99%
N.o CAS:	697-11-0	EINECS no:	211-803-2
MF:	C4F6	Masa molar:	697-11-0.mol
No ONU:	3162	Clase de peligro:	2,3+2,1
Apariencia:	Incoloro, no combustible	Olor:	inodoro

 

Elemento de inspección	unidad	Requisito
C4F6	%	99,9
AR+O2	ppmv	≤10
N2	ppmv	≤40
CO2	ppmv	≤20
CO	ppmv	≤7
THC	ppmv	≤700
HF	ppmv	≤10

Embalaje y entrega

Transporte DE PUNTOS:	Gas licuado, tóxico, no inflamable
Clasificación DE PUNTOS:	2,2
NO ONU:	ONU 3160
N.O CAS:	3162
Válvula CGA/DISS:	580

 

Otros atributos

Lugar de origen
Taiwán, China
Otros nombres
HFB
MF
C4F6
EINECS no
211-803-2
Estándar de grado
Grado industrial, Grado de electrones
Apariencia
gas incoloro
Aplicación
semiconductor
Nombre de Marca
OEM
Número de modelo
C4F6
Nombre del producto
Gas C4F6
Clase de peligro
2,3, 2,1
Color
Incoloro
Certificado
ISO9001
MOQ
2 cilindros
Nota de peligro
Tóxico
No ONU
3162
Olor
Inodoro
Paquete
Cilindro de acero sin costuras
Tipo de cilindro
ISO/GB/DOT

Embalaje y entrega

Detalles del embalaje
DOT 43/48,8 L/GB 980L/500L

Puerto
Shanghai,Qingdao,Ningbo,Hong Kong,Kaohsiung

Capacidad de suministro

Capacidad de suministro
10000 piezas/piezas por año
Mostrar menos  

Plazo de entrega

Cantidad (kilogramos)	1 - 5	6 - 20	21 - 50	> 50
Plazo de entrega (días)	3	7	15	A negociar

Gases de grabado un 3160 Octafluorociclobutano de grado electrónico C4F6 Gas

Hexafluoro1,3‐el butadieno es un gas comprimido licuado tóxico, incoloro, inodoro e inflamable

Años de investigación han demostrado que el C4F6 (H-2316) presenta varias ventajas para el grabado en seco de materiales a base de óxido:

 Tiene una tasa de grabado y selectividad más altas que el octafluorociclobutano (c-C4F8 - H318), otro etchant ampliamente utilizado para el óxido de silicio. A diferencia de C4F8 (H318), con C4F6 (H2316), solo se graba el sustrato dieléctrico. La estructura grabada tiene una relación de aspecto más alta, lo que lleva a zanjas más estrechas en comparación con c-C4F8.las emisiones de COV se reducen: C4F6 (H2316) tiene un potencial de calentamiento global bajo porque tiene una vida útil mucho más corta en la atmósfera.