Horno de vacío de elementos eléctricos y electrónicos

Allí dos mecanografía adentro la estructura del horno: Tipo vertical y horizontal.
Allí tres tipos de recipiente de vaivén: Ramping, dual-eje y tipo voladizo.
Los modelos del sitio de trabajo están (con o sin la purificación) de sitios de trabajo simples (con o sin la purificación) y estándar.

El método de la combinación y de la conexión de los equipos se puede distinguir por los aspectos siguientes
1. Por el regulador del flujo: Son de tipos de metro de flujo del flotador o de regulador del flujo total.
2. Por método de la válvula y de la conexión: Pueden ser clasificadas por método de tres conexiones como el zócalo importado de la unión de la válvula electromagnética, el zócalo importedpneumatic de la unión de la válvula y conexión importada del VCR de la válvula neumática.
Por método de proceso: Pueden ser clasificadas de muchas maneras de proceso tales como oxidación seca, etc. mojado de la oxidación (oxidación mojada convencional y H2 - oxidación de la síntesis O2), de la difusión del fósforo, de la difusión del boro y del recocido (aleación).

Datos técnicos dominantes del sistema de la difusión del vacío
Gama de temperaturas de trabajo: grado (400_1285);
Temperatura de trabajo de largo plazo: grado (1000_1285);
Longitud y precisión del temp constante. Zona:
grado (900_1285); 760mm/± grado 0.5degree (400_900); 760mm/± 1.0degree
Estabilidad de temperatura monopunto: grado (900_1285);
760mm/± grado 0.5degree/48h (400_900); 760mm/± 1.0degree/48h
Slop de la curva del control del aumento/de la disminución de la temperatura:
Velocidad máxima del temp. Disminución: 15degree/min
Velocidad máxima del temp. Disminución: 5degree/min; (1285~900degree)
Está con la función programable de la corrección automática en temperatura de la zona de temperatura constante para medir automáticamente la distribución de la temperatura en la zona.

Gas: TBD
Reborde del acero inoxidable del vacío, puerta del horno y tubería del vacío
Temperatura en la puerta del horno: <80degree con medidas resistentes radiantees del calor
Tubería del vacío: Conexión dura, pulido electroquímico de la pared interna, aire-agujero libremente, fijación sólida.
Unidad sin aceite del motor del vacío:
bomba Turbo-molecular:
Bomba seca (refrigeración por agua): Límite del vacío menos de 0.9 PA
Vacío de trabajo del sistema: Menos que 2.0× 10-4Pa
Capacidad de vacío-bombeo del sistema: Hora de alcanzar 2.0× 10-4Pa bombeando el ≤ del compartimiento de vacío; minuto 40