SRD Secador de oblea SPM Limpieza ácida, Limpieza orgánica, Desarrollo, proceso de desengomado secado de oblea

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Movement Way: Combined
• Atomization: Rotary Atomization
• Flow: Cross Flow
• Heating Mode: Dielectric
• No. de Modelo.: MDSD
• Material Status: Solution
• Drying Medium: Inactive Gas
• Operation Pressure: Vacuum
• Operational Method: Continuous
• Marca Comercial: minder-hightech
• Origen: Guangzhou
• Código del HS: 8015809090
• Capacidad de Producción: 200PCS/Yearpcs/Year

Descripción de Producto

Secador de obleas MDSD

Secador de obleas MDSD

 Características
* Diseño de estructura razonable y tecnología madura
*funcionamiento sencillo, mantenimiento conveniente, funcionamiento estable y fiable de toda la máquina
* Baja vibración, buena fiabilidad y gran rendimiento
parámetro técnico
* Tamaño de oblea: Aplicable a la línea de producción de 2-12 pulgadas
* tasa de fragmento: 1/10000
área de aplicación
SPM limpieza ácida, limpieza orgánica, desarrollo, degumming, ITO grabado, Grabado de BOE, cola uniforme y otros procesos de secado de obleas
Función del equipo
El equipo se divide en 2 estaciones, 4 estaciones y 6 estaciones, que pueden limpiar obleas de silicio de 2-12 pulgadas, nitruro de potasio, arseniuro de galio, zafiro, semiconductor, LED, energía solar y otros procesos húmedos, incluyendo limpieza, secado, secado con nitrógeno y secado en cámara de trabajo.
parámetros de proceso

parámetros de proceso	tiempo	velocidad
Lavado (tipo B)	0-999s	0-800r/min
Purga (tipo B)	0-999s	0-800r/min
Secado I (tipo B)	0-999s	0-800r/min
Secado II (tipo B)	0-999s	0-800r/min

Condiciones de fábrica

Voltaje	Potencia de una sola cavidad	Presión de nitrógeno	Flujo de nitrógeno	Presión de agua pura	Flujo de agua pura	Interfaz de nitrógeno	Interfaz de agua pura	Calibre de drenaje	diámetro de salida
AC380V/50Hz	5KW	0,25-0,4MPa	180-250L/min	0,2-0,3MPa	7-12L/l/min	3/8	3/8	DN32	DN110

Características
* adoptar el control inteligente PLC para hacer que todas las operaciones sean fiables y programas inteligentes.
* adoptar la conversión de frecuencia motor correa de accionamiento, bajo mantenimiento.
* Junta de nitrógeno del eje giratorio, diseño de laberinto, para asegurar que la cámara se aísla del entorno externo durante la operación del equipo.
* válvula de control de aire PTFE, conexiones de tubería limpias.
* los componentes principales están hechos de acero inoxidable SUS304 de alta calidad. El marco interno está hecho de acero cuadrado de acero inoxidable estándar nacional, que es resistente a la corrosión y a la corrosión. El diseño de la apariencia es novedoso, humanizado y fácil de operar.
* el mecanismo de rotación es verificado por un equilibrio dinámico preciso, y el bastidor principal es de estructura de carga, lo que asegura el equilibrio y estabilidad del sistema durante el funcionamiento, reduce la generación de fuentes de vibración y reduce en gran medida la velocidad de fragmentación.
* la parte superior de la cubierta adopta el sistema auxiliar de calentamiento de silicagel importado, que es seco sin gotear después de secar.
* se adopta un sistema de calefacción eléctrica, con rápido aumento de temperatura, fácil control y temperatura estable.