Trichlorosilane es un precursor de silicio El silicio epitaxial que contienen las películas delgadas, especialmente para los
Preparación de obleas de arranque.
Especificaciones:
| Los elementos de prueba |
Unidad |
Resultado del test |
| Los componentes |
La pureza |
% |
99.990 |
| |
Otros CHLOROSILANE |
% |
0.010 |
Las impurezas |
Co |
El MPP |
0.01 |
| |
Cr |
El MPP |
0.01 |
| |
Cu |
El MPP |
0.01 |
| |
Fe |
El MPP |
0.06 |
| |
Mn |
El MPP |
0.01 |
| |
Ni |
El MPP |
0.01 |
| |
V |
El MPP |
0.01 |
| |
B |
El MPP |
0.01 |
| |
Al. |
El MPP |
0.01 |
| |
P |
El MPP |
0.01 |
| |
Como |
El MPP |
0.01 |
| |
Mo |
El MPP |
0.01 |
| |
El total de impurezas metálicas |
El MPP |
<1.00 |
| P+As |
El MPP |
0.02 |
| C |
Ppm |
<0,01 |
| La densidad del gas |
/ |
4.7 |
Tipo de paquete:
Información de la empresa:
Suzhou Xunhe Chemical Co., Ltd es atendido por personal capacitado, se combinan muchos años de experiencia en la industria del gas .el cilindro de suministro de gas, gas electrónico, etc., y el gas titular, en el panel, válvulas y accesorios y otros equipos, piezas y servicios de ingeniería para nuestros clientes en China y en todo el mundo; los productos están involucrados en diversos campos industriales, tales como el chip semiconductor, célula solar, LED, pantalla TFT-LCD, fibra óptica, vidrio, láser, la medicina , etc., Nuestra misión es socio con nuestros clientes globales para proporcionar apoyo, soluciones y productos de calidad que sean innovadores, fiables y seguras.
Nuestros productos incluyen principalmente: H2, O2, N2, Ar, el CO2, el propano, acetileno, láser de helio, mezcla de gas, SiH4, Sih2Cl2, SiHCL3 SiCL4, NH3, el CF4, la NF3, el SF6, HCL, N2O, el dopaje gas mixto (TMB, PH3, B2H6) y otros medios electrónicos de los gases.
Proveedor Auditado 
