Especificación:
El triclorosilano es un precursor del silicio para las películas delgadas epitaxiales que contienen silicio, especialmente para el
preparación de las obleas iniciales.
Especificaciones:
| % de pureza: |
≥99,85 |
| Resistividad: |
≥ 300 ohmios-cm |
| Boro: |
≤ silicio de 0,1 ppba |
| Carbono total: |
≤ 5 ppma |
| Hierro: |
≤ 5 ppba |
| Otro clorosilano : |
≤ 500 ppm |
| Estado del cilindro a 21,1°C : |
Líquido |
| Límites inflamables en el aire: |
7-83% |
| Temperatura de encendido automático (°C ): |
182 |
| Peso molecular (g/mol): |
135,45 |
| Gravedad específica (aire = 1): |
4,67 |
| Temperatura crítica ( °C ): |
242,5 |
Tipo de paquete:
Información de la empresa:
Suzhou Xunhe Chemical Co., Ltd está formado por personal capacitado, combina muchos años de experiencia en la industria del gas. Suministramos gas de botella, gas electrónico, etc ., y el soporte de gas, panel, válvulas y accesorios y otros equipos, piezas y servicios de ingeniería a nuestros clientes en China y en todo el mundo; Los productos están implicados en diversos campos industriales, como chip semiconductor, célula solar, LED, TFT-LCD, fibra óptica, Vidrio, láser, medicina, etc., nuestra misión es asociarse con nuestros clientes globales para proporcionar soporte, soluciones y productos de calidad que sean innovadores, confiables y seguros.
Nuestros productos incluyen principalmente: H2, O2, N2, Ar, CO2, Propano, acetileno, helio, gas mezclado con láser, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, Nf3, SF6, HCL, N2O, gases mixtos dopantes (TMB, PH3, B2H6) y otros gases electrónicos.
Proveedor Auditado 
