Descripción del producto
1. Descripción general del producto
El implante iónico es uno de los pequeños aceleradores de alta presión con mayor número de aplicaciones. Es la fuente de iones para obtener los iones necesarios, después de la aceleración de varios cientos de miles de voltios de electrones de energía del haz de iones, utilizado para materiales semiconductores, circuitos integrados a gran escala y dispositivos de inyección de iones, pero también se utiliza para la modificación de superficies de materiales metálicos y la fabricación de películas.
2. Características del dispositivo
La energía de aceleración máxima del ion univalente es ≥200keV, y el sistema de desaceleración se aumenta para alcanzar el rango de energía del ion univalente en 5keV~200keV
Disponible para obleas de 2, 3, 4, 6, 8 pulgadas y fragmentos irregulares
B, P, AS, al, S, Se pueden inyectar iones H, mg, Si
Precisión de la dosis de inyección ≤1,5%
Intervalo de dosis de implantación de iones: 1×1011 AT/cm2 ~ 1×1016 AT/cm2
Parte de la fuente de iones: Fuente de iones, sistema de gas de la fuente de iones y sistema de extracción de la fuente de iones
El sistema de fuente de iones está equipado con cinco vaporizadores que generar iones a partir de una fuente de evaporación sólida a una temperatura De 700 ° C para lograr el implante de iones a fuente sólida
Los ángulos de inclinación de la implantación de iones son de 0° y 7°
Estación de temperatura ambiente: 0° y 7°; Estación de alta temperatura: 0°
El sistema de ajuste del haz incluye principalmente: Analizador de masas, sistema de convergencia del haz, sistema de aceleración, sistema de exploración, detección del haz y transformador aislado de alta tensión
El sistema de vacío incluye principalmente: Sistema de vacío de fuente de iones, sistema de vacío de línea de haz, sistema de vacío de estación final, tubos de vacío y válvulas en el sistema de vacío y unidad de detección de vacío
Grado de vacío:
Ion vacío de la fuente: ≤7×10-4PA
Vacío de línea de viga: ≤7×10-5Pa
Vacío de la estación final: ≤7×10-5Pa
Fotos detalladas
Exposición y clientes
Aplicación de campo
PREGUNTAS FRECUENTES
Q1:Cómo elegir una máquina adecuada?
A1:puedes decirnos el material de la pieza de trabajo, el tamaño y la solicitud de la función de la máquina. Podemos recomendar la máquina más adecuada de acuerdo con nuestra experiencia.
Q2:¿Cuál es el período de garantía del equipo?
A2:un año de garantía y 24 horas de asistencia técnica profesional en línea.
Q3:¿por qué elegirnos?
A3:OEM/ODM/Servicio de diseño.
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