Personalización: | Disponible |
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Servicio postventa: | instalación y formación gratuitas, asistencia técnica |
Garantía: | garantía limitada de un año |
Proveedores con licencias comerciales verificadas
Auditado por una agencia de inspección externa independiente
Mode La dimensión |
HCCA-1215 | HCCA-1612 | HCCA-1619 |
1250*1500mm | 1600*1200mm | 1600*1900mm | |
Modo de recubrimiento y de las principales confirguration |
Los seis objetivos de multi-arc + un conjunto de objetivos de la columna + un juego de rectángulo plano magnetrón sputtering objetivos | Los seis objetivos de multi-arc + un par de gemelas (MF) magnetrón sputtering objetivos |
Doce objetivos multi-arc + dos conjuntos de rectángulo plano magnetrón sputtering objetivos+ un par de gemelas (MF) magnetrón sputtering objetivos |
Fuente de alimentación | El poder de arco eléctrico, DC magnetrón power, MF magnetrón alimentación, alimentación del filamento, el pulso, fuente de alimentación lineal ionizados. | ||
Control de gases de proceso | Caudalímetro de calidad + el electromagnetismo de la válvula de cerámica | ||
Estructura de la cámara de vacío | Single vertical(lado) puerta, el sistema de bombeo postposition, el doble de refrigeración por agua | ||
Sistema de vacío. | La bomba de la molécula +bomba Roots +bomba mecánica(5.0*10 -5 Pa) Bomba de difusión +bomba Roots +bomba mecánica(5.0*10 -4 Pa) |
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La temperatura de cocción de la pieza | La temperatura normal de 350 centésimas de grado de control PID, radiante. |
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Modo de movimiento de la pieza | Control de frecuencia de rotación de público: 0-20 la rotación por minuto. | ||
Modo de medición | Número de pantalla: indicador de vacío compuesto de la atmósfera a 1.0*10 -5 Pa | ||
Modo de control | Manual/Automático/PC/PLC y HMI/PC cuatro elección del modo de control | ||
Comentario | Podemos diseñar la dimensión de los equipos del cliente según la técnica de especial necesidad. |