Laboratorio de alta especificación de deposición de láser de pulsos de PLD bioceramic sistema para la preparación de películas
Breve introducción del Láser de pulsos personalizables de deposición de sputtering system:
Sistema de deposición de láser de pulsos, abreviado como sistema PLD, este sistema consta de dos partes: El láser excimer y revestimiento de la cámara de vacío; Vacío de la cámara de recubrimiento de sputtering se compone de una cámara de vacío, una rotación de la etapa de destino, un anti-oxidación sustrato calefacción de gas de trabajo etapa, una ruta de acceso, sistema de extracción de gas, instalación, la mesa de máquina de medición de vacío y el sistema eléctrico de control.
La composición de equipos de Láser de pulsos personalizables de deposición de sputtering system:
1. Laser
Sobre la base de LightMachinery's best-seller IPEX serie de grado industrial, el láser excimer láser está optimizado para aplicaciones de PLD; La serie de IPEX láseres de excimer presentan un excelente rendimiento, durabilidad, fiabilidad, rendimiento e integración sencilla para satisfacer las necesidades de los investigadores e integradores de sistemas en el campo de la deposición de láser de pulsos (PLD).
1) Ventajas del láser
(1) GasMiser-1000 opción funciona con el icono de la tecnología para extender la vida de gas y reducir los costes operativos
(2) Excelente terreno la uniformidad y la estabilidad energética entre los pulsos, ancho de pulso corto
(3) la energía permanece constante en todas las frecuencias de repetición
(4) EasyClean de sellado automático función mantiene llenos de gas y reduce el tiempo de inactividad de mantenimiento
(5) montaje óptico muy estable para una excelente precisión de la señalización de haz
(6) sistema de entrega de viga personalizables para adaptarlas a las necesidades de aplicación del PLD
2) PLD un rendimiento estable
El pulso constante de energía: La feria IPEX-740 / 760 series láseres de excimer combinando el icono y GasMiser-1000 tecnologías tienen parangón gas estática y dinámica vida después de un solo intercambio de gases. De la única a la máxima frecuencia de repetición, el pulso de la energía es constante en todas las frecuencias de repetición. Este método garantiza que el PLD los parámetros de proceso no cambiará con el cambio de láser el tiempo de trabajo y la frecuencia de repetición.
El pulso constante estabilidad: El avanzado método de monitoreo de energía se utiliza para ajustar el pulso de la energía, que puede ajustar con precisión la tensión de descarga y la mezcla de gas, y mantener constante la energía de salida en todas las condiciones de trabajo (incluyendo el modo Ráfaga). El pulso a pulso la estabilidad es superior al 1%.
La constante hacia la estabilidad: La óptica de alta estabilidad core soporte, proporcionando apuntando hacia la estabilidad superior a 200μrad, asegurándose de que no es necesario después de la recalibración de reparación de óptica.
Haz constante de calidad: La intensidad del haz de la distribución de la feria IPEX-740 / láser de la serie 760 está diseñado para tener un borde afilado y una cabeza plana, sobre todo tiene un mínimo cambio dentro de la vida laboral de la cámara láser.
3) las especificaciones de láser
| La longitud de onda (nm). |
193 (ArF) |
248 (KrF) |
308(XeCl) |
| Pulso estabilizado Energía(mJ) en todas las tasas de repetición |
La feria IPEX-740 Series |
150 |
400 |
250 |
| La feria IPEX Serie-760 |
200 |
600 |
500 |
| Pulso de la máxima energía(mJ) a bajas tasas de repetición |
La feria IPEX-740 Series |
230 |
450 |
300 |
| La feria IPEX Serie-760 |
250 |
700 |
600 |
| Estabiliza la potencia media(W). |
La feria IPEX-746 |
15 |
40 |
25 |
| La feria IPEX-744 |
6.0 |
20 |
12 |
| La feria IPEX-742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| La feria IPEX-766 |
10 |
30 |
25 |
| La feria IPEX-764 |
5.0 |
18 |
10 |
| La feria IPEX - 762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| Tasa de repetición máxima (pps). |
La feria IPEX-746 |
100 |
100 |
100 |
| La feria IPEX-744 |
40 |
50 |
50 |
| La feria IPEX-742 |
20 |
25 |
25 |
| La feria IPEX-766 |
40 |
50 |
40 |
| La feria IPEX-764 |
25 |
30 |
20 |
| La feria IPEX - 762 |
12 |
15 |
10 |
Duración del pulso(NS).
(FWHM, nominal) |
La feria IPEX-740/760 Serie |
12 - 20 |
Haz las dimensiones (mm)
(V×H, nominal) |
La feria IPEX-740 Series |
12 × 26 |
| La feria IPEX Serie-760 |
12 × 28 |
Divergencia del haz(mrad)
(V×H, nominal) |
La feria IPEX-740/760 Serie |
1 × 3 |
2. La cámara de recubrimiento vacío
1) 1 conjunto de componentes de la cámara de vacío de sputtering
El tamaño de la cámara de vacío esférica es Ф450mm. Está hecha de acero inoxidable de alta calidad. Está soldado por arco de argón. La superficie está pulida por un proceso especial. La interfaz está sellado con una junta en metal o un anillo de goma de flúor.
2) 1 juego de rotación de los componentes de la plataforma de destino
(1) cuatro metas pueden ser cargados en un momento, el tamaño de destino: (i) Φ60mm Y (ii) Φ25mm.
(2) Cada objetivo puede darse cuenta de la rotación, la velocidad de rotación es 5~60 rpm regulable de forma continua, controlada por la impulsada por el motor del mecanismo de acoplamiento magnético.
(3) La posición del objetivo mecanismo de transposición de la revolución es controlada por el mecanismo de acoplamiento magnético accionados por motor.
(4) El material objetivo escudos de protección 4 objetivos, y sólo un objetivo material es sputtered en la película en un momento, a fin de evitar la contaminación cruzada entre el destino de los materiales.
3) Sustrato antioxidante de la tabla de calentamiento general 1
(1) sustrato: Tamaño de φ2 " sustrato puede ser colocado.
(2) La temperatura máxima del sustrato calefacción es de 800ºC±1ºC, controlados por circuito cerrado de termopar de retroalimentación, y el calentador está fabricado de material de antioxidante.
(3) El sustrato puede girar de forma continua, la velocidad es 5~60 rpm, controlada por la impulsada por el motor del mecanismo de acoplamiento magnético.
(4) La distancia entre el sustrato y la plataforma de destino es ajustable desde 30 a 90 mm y controlado por un mecanismo de ajuste de fuelle manual fuera de la cámara.
(5) Manual del deflector de muestra de control de componentes: 1.
(6) el titular de la muestra: 2.
4) la Ventana y piezas de la interfaz de brida 1
5) sistema de control de escaneo láser 1
Análisis bidimensional de la plataforma mecánica, dos conjuntos de control de motor, o el control manual.
6) Línea de gas de trabajo de 2 canales.
7) unidad de bombeo de gas, válvulas, tuberías 1
8) 1 juego de conjunto de bastidor de montaje de la máquina
La plaza de alta calidad perfil de acero soldado, de descarga rápida superficie coaming spray tratamiento; La superficie de la máquina con la decoración de la piel de acero inoxidable; Cuatro ruedas pueden ser fijos y móviles
9) medición de depresión y el sistema de control eléctrico 1
10) Sistema de control del equipo 1
Fotos relacionadas con el Láser de pulsos personalizables de deposición de sputtering system:
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