DC/RF de alto vacío Dual-Head magnetrón Sputtering Plasma Coater

• Tipo: Pulverizador de Revestimiento
• Revestimiento: Revestimiento de Vacío
• Sustrato: Vidrio
• Certificación: CE, TUV
• Condición: Nueva
• cabeza de espumación de magnetrón: 2 pulgadas
• No. de Modelo.: CY-VTC-600-2HD
• cámara de vacío: acero inoxidable
• soporte de muestras: rotable
• control de flujo de gas: precisión
• garantía: un año
• Paquete de Transporte: Wooden Box
• Especificación: dia. 140mm
• Marca Comercial: CY
• Origen: Zhengzhou, China
• Código del HS: 8543709990
• Capacidad de Producción: 210 Sets Per Month

Descripción de Producto

DC/RF de alto vacío Dual-Head magnetrón Sputtering Plasma Coater
Breve introducción
VTC-600-2HD es un sistema compacto magnetrón sputtering con doble 2" target fuentes, por ejemplo, una fuente DC y otra fuente de RF.Un rastreador de espesor de la película se incluye para permitir al usuario controlar el proceso fácilmente. Este coater está diseñado tanto para el revestimiento de una o varias capas de película para una amplia gama de materiales, tales como la aleación, ferroeléctrico, semiconductor, cerámica, el dieléctrico, óptico, etc. PTFE a bajo costo.   
La especificación  
 

La potencia de entrada	220VAC, 50/60 Hz, monofásico de  2000W (incluyendo la bomba)
Potencia de la fuente	Sputtering dos fuentes de alimentación son integrados en una caja de control DC: Fuente: 500W para el revestimiento de los materiales metálicos Fuente de RF: 600W con comparación automática de recubrimiento de materiales no metálicos
Magnetrón Sputtering jefe	Dos 2" Magnetrón Sputtering jefes incluidos Uno está conectado al suministro de energía de RF para no materiales conductores Otro está conectado a la fuente de alimentación DC para los materiales metálicos Requisito de tamaño de destino: 2 pulgadas de diámetro Gama de espesor: 0,1 - 5 mm para tanto metálicos como no conductivo objetivos Agua de refrigeración de la cabeza: 10ml/min el flujo de agua requerida
El vacío La cámara	La cámara de vacío: 300 mm de diámetro x 300 mm de altura, fabricado en acero inoxidable Ventana de observación: 100 mm de diámetro Cubierta de tipo bisagra en la parte superior con resorte neumático sport
El titular de la muestra	Portamuestras tamaño: 140mm de diámetro. 4" de la oblea máx.   Titular de la velocidad de rotación de la muestra es ajustable: 1 - 20 rpm El titular de la temperatura es ajustable de RT a 500°C máx. con una precisión de +/- 1,0 °C
Flujo de gas El control	Dos de precisión digital MFC (controlador de flujo de masa) se instalan
bomba de vacío La estación	Sistema de bomba de vacío de alta velocidad turbo
Grosor El monitor	Uno de cuarzo de precisión del sensor de espesor está integrado en la cámara para supervisar el espesor del revestimiento con una precisión 0,10 Å