400 tipo de una sola cámara de evaporación térmica del sistema de revestimiento para la preparación de películas y películas óptico ferroeléctrico
descripción de producto de 400 tipo de una sola cámara de evaporación térmica del sistema de revestimiento:
El sistema de diseño de deposición de vapor está compuesta principalmente por una depresión del sistema de medición de vacío y de bombeo, una cámara de vacío, un sistema de rack de la pieza de evaporación, un sistema de origen, un sistema de pruebas de espesor de película, un sistema de evaporación del deflector de barco, un sistema de iluminación para hornear, un ciclo de refrigeración de agua y un sistema de alarma, el diseño de controles electrónicos y sistemas de control de equipo, los sistemas auxiliares, etc...
La aplicación del tipo 400 cámara única de evaporación térmica del sistema de revestimiento:
Para la preparación de las películas de conductores, semiconductores ferroeléctrico películas, películas, películas de óptica y así sucesivamente.
Especificaciones técnicas de tipo 400 cámara única de evaporación térmica del sistema de revestimiento:
| Vacío final |
≤ 6, 7* 10 Pa |
| Tiempo de vacío de recuperación |
El bombeo de 1×10 Pa 5×10 Pa≤20min. |
| Tasa de fuga del sistema |
6.7*Pa. 10-7L / S |
| La cámara de vacío |
Ф400 x 400 mm cilíndrico cámara de vacío, |
| Fuente de evaporación |
1-4, mediante la resistencia de la evaporación evaporación barco azul, madeja viga, horno de origen a la parte inferior de la evaporación de revestimiento. |
| Temperatura de evaporación |
Temperatura de calentamiento: Temperatura ambiente hasta 1800ºC |
| Barco de evaporación |
El barco está en la evaporación de la circunferencia de 100-160 mm desde el centro; La evaporación barco puede ser levantado hacia arriba y abajo, y el rango de ajuste es 0-150 mm (la distancia entre el centro de la muestra y el crisol es de 150-300 mm); |
| Tipo y tamaño de Workbench |
Bandeja de muestras de diámetro Φ300mm, y puede colocarse sobre una pequeña muestra de 20 mm de diámetro; Muestra bandeja tiene una función de rotación, la velocidad es de 0 ~ 20 rev/min, la velocidad es ajustable; La muestra bandeja puede ángulo de giro, el ángulo es de 0 a 30 grados ajustable; |
| La temperatura de cocción |
400°C digital automático de la pantalla de control de temperatura termopar (alta temperatura de la placa de horno, pantalla digital de control de temperatura termopar automático puede ser calentado a 700 ºC) |
| Fuente de evaporación de la resistencia |
La tensión de 5V 10V, la potencia 2.5KW, refrigerado por agua pares de electrodos de 1~4 |
| Controlador de espesor de película de cristal de cuarzo |
Rango de medición del espesor de película 0-999999Å |
Imágenes relacionadas de 400 tipo de una sola cámara de evaporación térmica del sistema de revestimiento:
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