Máquina de Litografía de pasos

• Origen: China
• No. de Modelo.: LSLM-500

Descripción de Producto

 Características del producto    
  Alta   precisión;
   Ordenador de sobremesa,    pequeño, integrado
   Hardware y   software personalizables   para satisfacer   las necesidades del sector;  
La elasticidad  es adecuada para  diversas bases  y formas;

 Introducción del producto
La     máquina litográfica de paso LSLM-500  es   un dispositivo  utilizado  para  hacer   circuitos integrados  (ICS), que pueden formar millones       de componentes microscópicos de circuito en     la superficie   de    silicio diminuto
obleas,   una parte importante  de    un proceso complejo.
 Uso principal: la litografía por pasos  puede  usarse  para reducir   la escala  del   patrón de máscara  en    la superficie del sustrato   a ser  Expuesto.se  puede    utilizar ampliamente  en   el desarrollo  y  la producción  de            circuitos integrados pequeños y medianos,  componentes semiconductores   y   superficie
caoin(u)ss(t)ipec(c w)aifivca(e)tdio(e)n(v)s(i):(c)e(.)  el  patrón de máscara  puede   reducirse   5  veces  en    la misma proporción  para
Exposición;  ancho de línea mínimo:500nm;puede   cooperar con     una variedad     de modelos     de     resistencia a la luz positiva y negativa.
      Materiales de pulverización:metales      al,Cu,Gr,Co,Fe,ni,Pt,AG,ti,ta;aleación      NiFe,CoFeB,
NiMn,FeMn,TbFeCo;óxidos      MgO,etc.
Aplicaciones:             circuitos integrados pequeños y medianos;    componentes semiconductores;  Desarrollo  y  producción      de dispositivos de ondas acústicas superficiales;
   Parámetro de especificación

 

Proyecto	contenido
Tamaño de la viruta	Cuatro pulgadas, seis  pulgadas, ocho  pulgadas, doce  pulgadas
Fuente de luz de exposición	LED UV
Longitud de onda de la fuente de luz  utilizada	365  nm
Poder de resolución	se   desarrollaron  sucesivamente 500 nm,400 nm y 300 nm
Precisión de enfoque	150  nm
Multiplicador de escala	1:5
Modo de exposición	Proyección de pasos
Uniformidad del tamaño de la función  (CDU)	±10%
Dimensiones	170  cm*130  cm*180  cm