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Rango de medición
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Unidad de dirección X
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140mm
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Z1
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El rango de medición de contorno
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20mm
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Z1
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Resolución de 0,1 micras
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La altura del eje Z (columna)
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500mm
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El más pequeño agujero interior que puede ser detectado
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5mm
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Parámetros técnicos de contorno
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La precisión lineal
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±(0,5+|0,12H|)μm
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El sensor
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Arc
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±(1+R/12)μm
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El ángulo
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±1'.
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La rectitud
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0.5Μm/100mm
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Tipo de chip
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Ee.Uu.
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La resolución
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0.1Μm
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Origen
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Ee.Uu.
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Ángulo de escalada
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El aumento de 77 grados, la caída de 88 grados
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La velocidad de medición
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0.05-20mm/seg.
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La velocidad del eje Z
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0.05-20mm/seg.
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