| Personalización: | Disponible |
|---|---|
| No CAS.: | 75-73-0 |
| Fórmula: | cf4 |
Proveedores con licencias comerciales verificadas
Proveedor Auditado Auditado por una agencia de inspección externa independiente
| El tema | Index | ||
| CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99,995 | 99.99 |
| N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| El CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO, 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
| El SF6 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF, 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| Cft(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| Total el contenido de impurezas, ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| El parámetro Ensayo crítico |
Unidad | Empresa La especificación |
Análisis Los resultados |
Método de análisis |
| Tetrafluoromethane (CF4). | %(V/V). | El 99,999% Mín. | >el 99,999% | G.C |
| El oxígeno (O2) | V.ppm | <1,0 | <0,2 | G.C |
| El nitrógeno (N2) | V.ppm | <1,0 | <0.6 | G.C |
| El Monóxido de Carbono (CO) | V.ppm | <0,5 | <0,2 | G.C |
| El dióxido de carbono(CO2) | V.ppm | <0,5 | <0,2 | G.C |
| El hexafluoruro de azufre (SF6) | V.ppm | <0,2 | <0,1 | G.C |
| Trifluoromethane(CHF3). | V.ppm | <0,5 | <0,1 | G.C |
| Otros halocarbonos (OFC)*. | V.ppm | <1,0 | <0,7 | G.C |
| El total de los hidrocarburos (THC)*. | V.ppm | <0,5 | <0,1 | G.C |
| La humedad(H2O) | V.ppm | <0,5 | <0,2 | El analizador de humedad |
| La acidez(como HF) | V.ppm | <0,1 | <0,08 | El analizador de acidez |
| Contenido total de la impureza | V.ppm | ≤10.0 | <10.0 | G.C |
| Particale(>0.1μm) | Pc/litro | <10.0 | <1,0 | ICP-MS |
