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Mode La dimensión |
JTL-900. | JTL-1100 | JTL-1300 | JTL-1600 |
Φ9001000mm | Φ11001000mm | Φ13001200 mm | Φ16001200 mm | |
Modo de recubrimiento y de las principales confirguration |
El arco eléctrico de 3+2 pares de cátodo rectangular plano | El arco eléctrico de 6+2 pares de cátodo cilíndricos | El arco eléctrico de 5+4 pares de cátodo cilíndricos | El arco eléctrico de 6+8 pares de cátodo cilíndricos |
Tipos de película | Películas de metal, películas, películas compuesto dieléctrico,películas de reacción de la función de la capa de Muti,películas | |||
Fuente de alimentación | Fuente de alimentación de arco eléctrico,DC magnetrón fuente de alimentación, fuente de alimentación de MF magnetrón.fuente de alimentación de tensión de polarización de pulso.fuente de iones fuente de alimentación. | |||
Control de gases de proceso | Caudalímetro de calidad + el electromagnetismo de la válvula de cerámica | |||
Estructura de la cámara de vacío | Un solo lado) Vertical(puerta, el sistema de bombeo postposition, el doble de refrigeración por agua | |||
Sistema de vacío. | Molécula bombas bomba de difusión)+bomba Roots +bomba mecánica (8,0*10-4Pa) | |||
Velocidad de bombeo | El bombeo de tiempo inferior a 15 minutos ,de la presión atmosférica a 310 -3 Pa | |||
Modo de movimiento de la pieza | Control de frecuencia de rotación de público: 0-20 la rotación por minuto. | |||
Modo de medición | Compuesto de visualización del número de manómetro de vacío: de la atmósfera a 1.0*10-5PA | |||
Modo de control | La completa automatización del sistema de control PC+PLC/PC+HMI | |||
Comentario | Podemos diseñar la dimensión de los equipos a los clientes según técnica especial exigencia. |
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