| Personalización: | Disponible |
|---|---|
| Campo de aplicación: | Aeroespacial, Automotriz, Electrónica, Marino, Dispositivos médicos, Petróleo y Gas, Generación de energía, Ferrocarriles |
| Material de recubrimiento: | Metal |
Proveedores con licencias comerciales verificadas
Proveedor Auditado Auditado por una agencia de inspección externa independiente
El matamosolador de magnetrón de tres objetivos es un equipo de recubrimiento de espumación de magnetrón rentable desarrollado independientemente por nuestra empresa. Este matamosolador de magnetrón es estandarizado, modular y personalizable.
Este dispositivo puede utilizarse para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleación, películas de semiconductores, películas de cerámica, Películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de PTFE, y similares. Comparado con equipos similares, este coater de esputtering de magnetrón de tres objetivos no solo se utiliza ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un pequeño tamaño y fácil funcionamiento, y es un equipo ideal para preparar películas de material en un laboratorio.
| nombre del producto | Tres fuentes de espumador magnetrón espumante coater con UPS |
| Número de producto | RJ-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS |
| Tensión de alimentación | VAC 220, 60Hz |
| UPS | 20Kva 16KW, 1 horas de retraso 16 baterías, con capacidad de 38AH |
| Cámara de vacío | Dimensiones: Diám. 325 mm * H 385 mm Material: Acero inoxidable 304 Visor (ventana): ~4'' (100mm) con obturador |
| Etapa de muestra | Soporte superior de muestras Tabla de muestra: Diám. 150mm Tamaño de la muestra: Máx. 4'' de diámetro Velocidad giratoria: 0-40rpm ajustable Temperatura de calentamiento: Hasta 700ºC. |
| Enfriador de agua | Caudal de agua: 2,3m3/h. Potencia: 3P Capacidad de refrigeración: 8250Kcal/h. Potencia de salida del compresor: 2,25KW |
| Pistola de pulverización de magnetrón | 2× 3'' pistolas de espumación magnetrón, con obturador automático Orientación de pulverización hacia arriba Diámetro objetivo: 2'' Imanes: Imán de tierra rara |
| Generador RF | Fuente de alimentación 3 × RF 300W con comparación automática Rango de potencia de salida: 5W~300W Potencia máxima reflejada: 100W Estabilidad de potencia: ±0,1% Componente armónico: ≤-50dbc Fuente de alimentación: Monofásica 187-253 VCA , 50/60Hz Eficiencia: ≥70% Factor de potencia: ≥90% Potencia reflejada (a potencia máxima): <3W Corriente de carga máxima: 30ARMS Tensión de carga máxima: 7500VRMS Conector de salida RF: 50 Ω, L29 o personalizado Tiempo del partido: 1~3s Rango de partes reales de impedancia coincidente: 0~80Ω Gama imaginaria de impedancia coincidente: -200J~+200J Método de enfriamiento: Enfriamiento forzado |
| Caudalímetro de masa | O2 × Control de flujo masivo MFC (Ar, N2 y 3) Rangos de medición: Hasta 20sccm Con válvula(s) de aislamiento neumático(s) y filtro. |
| Control totalmente automático por PC o PLC, para controlar | Almacenar para un mínimo de 100 recetas Controlador plano de 19'' |
