Equipo de laboratorio de CVD de doble zona que combina PECVD con plasma reforzado con productos químicos Sistema de deposición de vapor

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• Proceso de dar un título: CE
• Estructura: Tipo horizontal
• Marca: Cyky
• nombre del producto: sistema de horno de tubo pecvd
• temperatura máx: 1200c
• material del tubo: tubo de cuarzo
• resistencia: cable de resistencia
• zona de calefacción: 3 zonas
• longitud de la zona de calefacción: Per 400mm
• caudalímetro de gas: 3 canales
• generador de rf: 300w
• frecuencia: 13,56mhz
• Paquete de Transporte: Wooden Case
• Marca Comercial: cykyfurnace
• Origen: China
• Código del HS: 85141090
• Capacidad de Producción: 500 Sets Per Month

Descripción de Producto

Descripción del producto

Plasma mejorado tubo CVD horno / sistema PECVD  Introducción para tubo PECVD Horno

 

PECVD PE deposición de vapor químico

Es  un sistema          de horno de tubo PECVD (deposición de vapor químico reforzado por plasma) asequible y compacto  con  mecanismo deslizante.   Consiste en     un generador de plasma de 300W RF,     un horno de tubo dividido de 2"O.D y    el raíl deslizante integrado que le permite  precalentar y deslizar el horno a   la zona de muestra  para  obtener una    exposición instantánea bajo   alta temperatura.  Este sistema puede  actualizarse a  un modelo avanzado con opciones.    Es  una herramienta ideal para  que el  investigador  haga la innovación bajo  un presupuesto limitado.

 

Características del equipo PECVD

 

1.  procesamiento de temperatura inferior en comparación con  ECV convencional.   

2.    Alta velocidad de calentamiento y enfriamiento usando  horno deslizante  

3.  El estrés de la película puede  controlarse mediante    técnicas de mezcla de alta/baja frecuencia.   

4.Control sobre estequiometría mediante  condiciones de proceso.  

5.puede hacer   una amplia gama de  deposición material , incluyendo SiOx, SiNx, SiOxNy y    deposición de silicio amorfo (a-Si:H).

 

Parámetros técnicos del equipo PECD

Horno de tubo de plit	Potencia de entrada: 208 - 240V AC, 1,2kW 1200°C   temperatura de trabajo máx . < 60 minutos 1100°C máx . Para  calentamiento continuo    Tubo de cuarzo de alta pureza de 2" de D.E. x 1,7" de D.I. x  39,4" de longitud         controlador de temperatura digital de precisión programable de 30 segmentos 8" (200mm mm),  zona única.  2,3" (60mm)  (+/-1°C) a 1000°C.
Generador de RF de plasma	Potencia de salida:           5 -300W ajustable con   ± 1% de estabilidad  Frecuencia de RF:            0,005 MHz ±13,56% de estabilidad  Poder de reflexión:       200W máx Coincidencia:                 Automática   Puerto de salida RF:        50 Ω , tipo N , hembra Ruido:                      <50 dB.   Refrigeración:                     Refrigeración por aire.   Potencia :                     208-240VAC, 50/60Hz
Brida de vacío y conexiones	El juego de bridas de vacío está hecho   de acero inoxidable  304.     El conjunto de brida izquierda incluye    un puerto de vacío KF-25,  dos KF-25    abrazadera rápida,     Una válvula de ángulo recto KF-25,    un fuelle de vacío KF-25,  una brida   Soporte 1/4 O.D    conexión de manguera y   válvula de aguja.   El conjunto de brida derecha incluye    un calibre pirani digital , 1/4 O.D    conexión de tubo, 1/4"  alimentación directa y   una válvula de aguja.
Bomba de vacío	AC 220V 50 HZ  1/2HP  375W 2 litros /S  o 120 litros/m    El colector de aceite (entrada) y  el filtro de escape (salida)  están instalados.  Vacío máx.:  10-2 torr
Garantía	Garantía limitada de un año con   soporte de tiempo de elevación  ( Las piezas consumibles tal   como  los tubos de procesamiento, las juntas tóricas y  los elementos calefactores  no están cubiertos   por  la garantía)

 

P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?

R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos su propio equipo de diseño y fábrica, tenemos una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.

 

P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?

R.  el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.

 

P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?

A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.

 

P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?

R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.

 

P. ¿Cómo pagar?

A.T / T, L / C, D / P, etc., se recomienda utilizar la Garantía Comercial Alibaba.

 

P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?

A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.